大気圧低温プラズマジェットを援用することで,加工中のクーラント効果を促進させ,微細ダイヤモンド工具の加工性能を最大限に引き出す.高純度SiCに対するナノ多結晶ダイヤモンド(NPD)製ボール用いたミーリング加工においてプラズマ援用クーラントの効果を確認している.NPD工具の更なる高効率・迅速成形プロセスを確立するため,フェムト秒レーザおよびオンマシン計測システムを駆使することで,NPD工具を1本あたり数分で高精度・高能率に製造可能な技術を確立した.創製した工具の性能を見極めるターゲットして,レーザプラズマ加速器のキーパーツであるサファイアキャピラリの高精度ミーリングを実施し基礎的知見を得た.
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