| 研究概要 |
昨年度に引き続き,環境制御型電子顕微鏡における精度・操作牲を考慮した多自由度多プローブナノマニピュレーションにおける各種バイオツールの創製について検討を行った.環境制御型電子顕微鏡は,水溶液・生物試料を扱うことが可能な特殊な電子顕微鏡であり,これにより一般的な電子顕微鏡では不可能なバイオナノ材料を扱うことができ,ナノデバイスのバイオ応用には非常に有用かつ必要不可欠なシステムである.これまで,それぞれ3自由度を有した2つのユニット型マニピュレータを構築し,冷却機構を有するステージを含めた3ユニット,計6自由度から構成されるナノアセンブリシステムを構築した.バイオツールとしては,CNTを用いた極微小な温度センサを作製するために,CNTを局所的に成長させる技術として,触媒層の上に堆積されたバリア層を,集束イオンビーム加工(FIB)法により選択的にバリア層を除去した後,化学気相堆積法(CVD)させるといった,半導体で用いられている微細加工手法によらず,CNTを選択的に成長させる手法を提案した.これにより,微小なプローブの先端などの三次元形状の微小構造物上の任意位置に選択的にカーボンナノチューブを成長できることを実験的に示した.本手法で提案する手法により,高い生産性で任意位置に選択的にカーボンナノチューブを配置させることができ,将来求められるカーボンナノチューブナノデバイス応用に重要であると期待され,また,今後は,細胞における超微小局所温度場を計測するためにCNTの抵抗値が環境温度により変化することを利用した,CNTがナノメートルオーダの配線材であるため極小領域の温度を計測について検討を行う必要がある.また構築したナノアセンブリシステムにより,CNTの局所加工技術として,酸素ガスアシスト型の切断手法についても検討を行った.(769字)
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