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2007 年度 実績報告書

コヒーレント低速電子を用いた単分子の回折顕微鏡法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17106001
研究機関早稲田大学

研究代表者

大島 忠平  早稲田大学, 理工学術院, 教授 (10212333)

研究分担者 六田 英治  早稲田大学, 理工学術院, 助教授 (80298166)
キーワード単原子電子源 / 電子回折顕微鏡 / 単分子の電子回折 / 大立体角分析器 / 極高真空
研究概要

[1]コヒーレント電子源の開発/単原子電子源の電子放出特性を詳細に検討し、次の知見をえた。1)Au-Wナノ電子源は、強電界下(3.5V/Å以上)では3原子で終端した3角錐突起となる。2)単原子電子源から放出される電子ビームの空間可干渉性が従来の電子源に比較して、1桁以上優れている。3)単原子電子源から放出されるビームの指向性は極めて高く、実際の電子顕微鏡用電子銃で、効率は従来の電子源に比較すると2-3桁高い。4)単原子電子源が動作できる極高真空環境を実用電子銃容器として実現した。
[2]装置開発コヒーレント低速電子回折顕微鏡装置に中間レンズと対物レンズを組み込み調整し、SEM像の空間分解能として、1.7nm(5keV、中間報告では20nm)を達成し、100nm制限領域(中間報告では1μm)で、低速電子回折パターンを観測した。
[3]単分子を保持する高品質のグラフェン膜作製に成功(特許申請済)。単分子を保持・固定し、かつ低速電子線にとって半透明な理想的な膜は、1原子の厚さのグラフェン膜である。従来、数十nmの大きさの結晶剥離片のグラフェンしか存在しなかったが、本年度、一辺が数十μm以上の大きな膜(世界最大)を作製する技術を開発した。条件を選べば数mmの大きさの膜も製造可能であり、特許申請した。
[4]微小領域の回折像観察 中間報告で1μm角領域の500eVのパイロライトの透過低速電子回折像を(世界初めて)報告したが、装置の調整によって、さらに、狭い(100nm角)領域の金箔やグラフェン膜の回折パターンを観測した。単原子電子源搭載時には、10nm領域の回折パターンの観測が可能となり、単分子の回折パターン観測への道筋を引いた

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2007 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (4件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Highly efficient electron gun with a single-atom electron source2007

    • 著者名/発表者名
      T.Ishikawa, T.Urata, B.Cho, E.Rokuta and C.Oshima
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 90

      ページ: 143120-1,143120-3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme high vacuum field emission microscope for study on the inherent fluctuation of field emission.2007

    • 著者名/発表者名
      B.Cho、T.Itagaki, T.Ishikawa, E.Rokuta and C.Oshima
    • 雑誌名

      J.Vacuum Science and Technol. B25

      ページ: 1420-1423

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of pressure in 10-10Pa range from the damping speed of field emission current2007

    • 著者名/発表者名
      B.Cho, T.Itagaki, T.Ishikawa and C.Oshima
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett 91

      ページ: 012105-1-012105-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Coherent and intense multibeam generation by apex of sharp nano-objects: Electron half-circular prism2007

    • 著者名/発表者名
      B.Cho, T.Itagaki, T.Ishikawa and C.Oshima
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett 91

      ページ: 163102-1-163102-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Angle-resolved ultraviolet photoelectron spectroscopy with a large sold angle analyzer.2007

    • 著者名/発表者名
      D.Sakai, D.Miura, A.Maruyama, T.Ishikawa and C.Oshima
    • 雑誌名

      J.Electron Spectro. & Related phenomena 159

      ページ: 39-45

    • 査読あり
  • [学会発表] Application of the single-atom electron source to scanning electron microscopy2007

    • 著者名/発表者名
      裏田 友洋、石川 剛、趙 福來、六田 英治、野々 垣良三、米澤 彬、斉藤 秀一、大島 忠平
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢アートホール
    • 年月日
      2007-10-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Study on field emission properties from Au-covered nanotip2007

    • 著者名/発表者名
      野村 健一, 板垣 考洋, Kuo Hong-Shi, Tsong T.T, 大島 忠平
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢アートホール
    • 年月日
      2007-10-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] 低速電子回折顕微鏡の開発2007

    • 著者名/発表者名
      石川 剛, 裏田 友洋, 趙 福來, 小粥 啓子, 米澤 彬, 野々 垣良三, 大島 忠平
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-04
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] コヒーレント低速電子線回折顕微鏡の開発2007

    • 著者名/発表者名
      石川 剛, 大島 忠平
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第63回学術講演会
    • 発表場所
      新潟県朱鷺メッセ
    • 年月日
      2007-05-21
  • [産業財産権] 単原子膜の製造方法

    • 発明者名
      大島 忠平
    • 権利者名
      早稲田大学
    • 産業財産権番号
      特願2008-079582

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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