研究課題
基盤研究(A)
ナノドットアレイによるフレキシブルな多入力・多出力機能性デバイスを提案した。まず、シミュレーションにより思惑通りの特性が得られることを確認後、実際に半導体Siナノドットアレイデバイス構造を試作・評価し、従来のデバイスでは実現不可能な高い機能を実証した。同時により小さなナノドットアレイ実現のため、金属を用いたナノドットアレイ構造作成法の検討を行い、基本的手法を確立した。1. 確率的な単電子トンネル現象を考慮したシミュレーションによる評価ナノドットアレイの電気的特性が評価可能なモンテカルロシミュレーション法によるシミュレータを構築し、本研究の目的とするフレキシブルな多入力の論理機能可変デバイスが実現できることを示した。2. Siナノドットアレイデバイスの試作と評価半導体Siのナノドットアレイデバイスを、電子ビーム露光法と熱酸化を用いた、従来のCMOSと互換の作製プロセスで作製した。2×2のナノドットアレイ上に、2つの入力ゲート、さらにその上に機能を制御するための制御ゲートを取り付けた構造を作成し、2入力の論理ゲートデバイスとしての動作を評価し、最小に近いアレイサイズにもかかわらず、本研究で提案した思惑通りに、2入力の論理関数を制御ゲート電圧でその論理機能を可変とすることができることを示した。加えて、本研究提案の特徴である、多出力デバイスの可能性を示した。3. 金属ナノドットアレイの作成と評価グラニュラー膜構成による、金属ナノドットが絶縁膜中に埋め込まれた構造を実現し、その基本特性を評価すると同時に、ドットサイズ縮小の可能性示した。金属として磁性金属を用い、ナノドット間のスピン依存トンネル現象に伴う磁気抵抗効果がドット間のカップリングによって変化する現象を確認し、加えて、スピン依存単電子トンネル現象による磁気抵抗の変化を確認し、新たな機能付加の可能性を示した。
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Chaos, Solitons & Fractals 37
ページ: 100-107
Physical Review B 77
ページ: 073310(1-4)
Journal of Physics and Chemistry of Solid 69
ページ: 702-707
Materials Science and Engineering: B 147
ページ: 100-104
Applied Physics Letters 92
ページ: 062105(1-3)
ページ: 093101(1-3)
応用物理 77
ページ: 281-285
電気学会誌 128
ページ: 168-171
ページ: 073310_1-4
ページ: 062105-1-3
ページ: 093101-1-3
Oyo Buturi 92
The Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 128
ページ: 169-171
IEICE Technical Report Vol.107, No.473
ページ: 69-73
IEEE Electron Device Letters 28
ページ: 48-50
Applied Physics Letters 90
ページ: 031115(1-3)
Journal of Applied Physics 101
ページ: 034317(1-4)
Japanese Journal of Applied Physics 46
ページ: 1731-1733
ページ: 033507(1-3)
ページ: 102106(1-3)
IEICE Transactions of Electron E90-C
ページ: 943-948
Physical Review Letters 98
ページ: 166601(1-4)
ページ: 2615-2617
Physical Review B 76
ページ: 075332(1-5)
ページ: 223108(1-3)
Physical Review Letters 99
ページ: 036803(1-4)
Journal of Multiple-Valued Logic and Soft Computing 13
Chaos, Solitons & Fractals 32
ページ: 855-861
International Journal of Unconventional Computing 3
ページ: 271-284
International Journal of Bifurcation and Chaos 17
ページ: 3613-3617
ページ: 031115_1-3
ページ: 034317_1-4
ページ: 033507-1-3
ページ: 102106-1-3
IEICE Transactions of Electron E90-C, No. 5
ページ: 166601-1-4
ページ: 075332-1-5
ページ: 223108-1-3
ページ: 036803-1-4
ページ: 249-266
IEICE Technical Report Vol.106, No.520
ページ: 35-39
Applied Physics Letters 88
ページ: 053121(1-3)
Japanese Journal of Applied Physics 45
ページ: 1946-1949
ページ: 183101(1-3)
ページ: 3606-3608
Proceedings of the 36th IEEE International Symposium on Multiple-Valued Logic
ページ: 19-24
Materials Science and Engineering: C 26
ページ: 776-781
ページ: 1146-1150
ページ: 4285-4289
Physical Review B 74
ページ: 035408(1-6)
ページ: 5317-5321
Physical Review Letters 96
ページ: 236801(1-4)
Applied Physics Letters 89
ページ: 052102(1-3)
IEEE Transactions Nanotechnologies 05
ページ: 430-435
Journal of Physics D: Applied Physics 39
ページ: 5103-5108
ページ: 235317(1-9)
Chaos, Solitons & Fractals 27
ページ: 887-894
IEICE Transactions on Electronics E89-C
ページ: 1504-1511
ページ: 053121-1-3
ページ: 183101-1-3
Proceedings of the 36th IEEE International Symposium on Multiple-Valued Logic (IEEE Computer Society)
ページ: 035408-1-6
ページ: 236801-1-4
ページ: 052102-1-3
ページ: 235317-1-9
Chaos, Solitons & Fractals 27, no. 4
IEICE Transactions of Electronics E89-C (invited paper)
IEICE Technical Report Vol.105, No.549
ページ: 13-18
ページ: 23-28
Silicon Nanoelectronics (eds. by S. Oda & D. Ferry, Taylor & Francis)
ページ: 281-304
OHM Headline Review 2006, Handbook for ultramodern technologies (OHM)
ページ: 336-337
Japanese Journal of Applied Physics 44
ページ: 2588-2591
ページ: L790-792
MRS Symposium Proceedings, "Semiconductor Defect Engineering-Materials, Synthetic Structures and Devices" 686
ページ: E6.7.1-E6.7.12
ページ: 4855-4858
Nano Letters 5
ページ: 1575-1579
Proceedings of the 35th IEEE International Symposium on Multiple-Valued Logic
ページ: 32-38
ページ: 7717-7719
Materials Science in Semiconductor Processing 8
ページ: 59-63
ページ: 8759-8763
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 3
ページ: 453-456
MRS Symposium Proceedings, "Semiconductor Defect Engineering -Materials, Synthetic Structures and Devices"(S. Ashok, J. Chevallier, B.L. Sopori, M. Tabe, P. Kiesel, Eds., Materials Research Society) 686
Nano Lett. 5
Multiple-Valued and Mixed-Mode Logic, Proceedings of the 35th IEEE International Symposium on Multiple-Valued Logic (IEEE Computer Society)
