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2007 年度 実績報告書

動的斜め蒸着法による金属ナノ粒子の形態制御とプラズモニクスへの展開

研究課題

研究課題/領域番号 17310073
研究機関京都大学

研究代表者

鈴木 基史  京都大学, 工学研究科, 准教授 (00346040)

研究分担者 木村 健二  京都大学, 千学研究科, 教授 (50127073)
中嶋 薫  京都大学, 工学研究科, 助教 (80293885)
キーワードナノ材料 / 表面・界面物性 / 光物性 / 自己組織化
研究概要

[課題1]光触媒機能を有するひな形層への貴金属ナノ粒子の形成
我々は過去に光触媒機能を有する形態制御薄膜を開発した実績があるが,その際には成膜後に大気中での熱処理が必要であった.しかしながらAuナノ粒子のひな形として用いる場合,光触媒特性を持つ膜を動的斜め蒸着装置内で形成しなければならない.我々は酸素雰囲気下で400℃に加熱した基板上に酸化チタンを動的斜め蒸着し,光触媒活性が高くかつ表面の異方性形態を有するTiO2ひな形層を形成することに成功した.
TiO2ひな形上にAuナノ粒子を形成した試料において,光触媒活性があること,およびラマン散乱の増強を確認した.また光触媒活性を持たないSiO2ひな形層上に形成したAuナノロッドのSERS特性と比較してTiO2ひな形層を用いるとスペクトルの再現性が向上することが分かった.
[課題2]干渉構造を用いた局所電場の制御
反射率の高いAg鏡上に厚さを0〜200 nmで変化させたSiO2層を形成した上に,動的斜め蒸着によってAuまたはAgのナノロッドアレイを形成した.ひな形の厚さを適当に選ぶことで,ひな形層内での光の干渉によって,表面に形成したナノ粒子にほぼ100%光を吸収させたり,全く光を吸収させずに反射させることが可能であることを実証した.光の吸収量と,ナノ粒子近傍に増強される電場の強さの間には密接な関係があると考えられ,光の吸収が大きくなることはSERSへの応用に有用であると予想される.
[課題3]高温斜め蒸着による金属ウィスカ成長の制御
トレンチ基板へのA1の高温斜め蒸着により,側壁へのウィスカの選択成長に成功した.また,ウィスカの成長時に基板表面で反射するA1原子がウィスカの成長に重要な寄与をしていることを見いだした.

  • 研究成果

    (19件)

すべて 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (12件) 図書 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Effect of the Surface Nanomorphology on the Growth of Al Whiskers Formed by Glancing Angle Deposition on a High2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hamachi, 他
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1059

      ページ: 1059-KK04-09(6)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Au Nanorod Arrays Tailored for Surface-Enhanced Raman Spectroscopy2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 雑誌名

      Analytical Sciences 23

      ページ: 829-833

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Morphological evolution of Al whiskers grown by high temperature glancing angle deposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A 25

      ページ: 1098-1102

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Plasmonic nanocoatings tailored for surface-enhanced Raman imaging in near-infrared region2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 6647

      ページ: 664707-1-664707-8

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] An approach to self-cleaning SERS sensors by arraying Aunanorods on Ti02 layer2007

    • 著者名/発表者名
      S. Li, 他
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 6647

      ページ: 66470-J-1-66470-J-8

    • 査読あり
  • [学会発表] トレンチ基板への高温斜め蒸着によるA1ウィスカの成長2008

    • 著者名/発表者名
      喜多僚, 他
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部船橋キャンパス
    • 年月日
      2008-03-28
  • [学会発表] 高温斜め蒸着によるFeウィスカの成長2008

    • 著者名/発表者名
      永井孝治, 他
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部船橋キャンパス
    • 年月日
      2008-03-28
  • [学会発表] Selective Growth of Al Nano-whiskers on the Patterned Substrate by Glancing Angle Deposition at High2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      ボストン/米国
    • 年月日
      2007-11-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Effect of the Surface Nanomorphology on the Growth of Al Whiskers Formed by Glancing Angle Deposition on a High2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hamachi, 他
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      ボストン/米国
    • 年月日
      2007-11-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Novel Synthesis of Metal Nano-whiskers: High-temperature Glancing Angle Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      ボストン/米国
    • 年月日
      2007-11-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Gold Nanorod Arrays for Surface Enhanced Raman Scattering Imaging of Micro-objects2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 学会等名
      AVS 54th International Symposium
    • 発表場所
      シアトル/米国
    • 年月日
      2007-10-16
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] 加熱基板上への斜め蒸着によるFeウィスカ形成2007

    • 著者名/発表者名
      永井孝治, 他
    • 学会等名
      第48回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院大学
    • 年月日
      2007-10-15
  • [学会発表] 貴金属ナノロッドアレイを用いた神経ガスVX加水分解物の表面増強ラマン散乱2007

    • 著者名/発表者名
      福岡隆夫, 他
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
  • [学会発表] An approach to self-cleaning SERS sensors by arraying Aunanorods on TiO2 layer2007

    • 著者名/発表者名
      S. Li, 他
    • 学会等名
      SPIE Optics & Photonics 2007
    • 発表場所
      サンディエゴ/米国
    • 年月日
      2007-08-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Plasmonic nanocoatings tailored for surface-enhanced Raman imaging in near-infrared region2007

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, 他
    • 学会等名
      SPIE Optics & Photonics 2007
    • 発表場所
      サンディエゴ/米国
    • 年月日
      2007-08-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] 貴金属ナノロッドアレイのSERSイメージング基板への応用2007

    • 著者名/発表者名
      鈴木基史
    • 学会等名
      電子情報通信学会:次世代ナノ技術に関する時限研究専門委員会主催研究会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2007-06-22
  • [学会発表] 斜め蒸着による薄膜のナノ構造と機能の制御2007

    • 著者名/発表者名
      鈴木基史
    • 学会等名
      第1回界面現象研究センター技術セミナー
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      2007-05-11
  • [図書] 薄膜ハンドブック 第2版(分担執筆)2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木基史
    • 総ページ数
      1235
    • 出版者
      オーム社
  • [備考]

    • URL

      http://nsn.kyoto-u.ac.jp/index.php?p=97

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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