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2005 年度 実績報告書

プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 17350106
研究機関静岡大学

研究代表者

稲垣 訓宏  静岡大学, 工学部, 教授 (30022015)

研究分担者 神藤 正士  静岡大学, 工学部, 教授 (60023248)
成島 和男  静岡大学, 工学部, 助手 (40303531)
キーワード酸素ガスバリアー / 水蒸気ガスバリアー / ポリエチレンナフタレート / パルスプラズマ / SiOx / プラズマポリマー
研究概要

パルスプラズマの放電直後に発生する異常に加熱された電子を利用して、Si-O-Si構造のみから成るSiOxプラズマポリマーを合成し、酸素および水蒸気ガスバリアー性に優れた透明なフィルムの作成を目標にしている。テトラメトキシシランと酸素の混合ガスのプラズマ重合から、SiOxに富む透明な薄膜が合成できた。そのSiOxプラズマポリマーをガスバリアー性に優れてポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム表面に堆積しガスバリアーポリマーフィルムを作成した。その酸素透過量は、PENの24.8から0.09-0.1cm^3/m^2-day-atmに約1/250まで大幅に低下し、開発目標としている10^<-3>cm^3/m^2-day-atmのオーダーに今一歩である。一方、水蒸気透過量は、0.2-0.5g/m^2-day-atmとなり、PENの水蒸気透過量3.25g/m^2-day-atmから改善が少ない。これは、PENフィルム上に堆積したSiOx薄膜内部にナノオーダーのミクロポアーが存在し、水蒸気分子はこのミクロポアー表面を表面拡散していると推定した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2006 2005

すべて 雑誌論文 (3件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Introduction of amino functionalities on ethylene-cotetrafluoroethylene film surfaces by NH3 plasma2005

    • 著者名/発表者名
      N.Inagaki, K.Narushima, K.Kuwabara, K.Tamura
    • 雑誌名

      Journal of Adhesion Science & Technolgy 19

      ページ: 1189-1205

  • [雑誌論文] Plasma-polymerized versus polycondensed thin films of vinyltriethoxysilane2005

    • 著者名/発表者名
      V.Cech, N.Inagaki, J.Vanek, R.Prikry, A.Grycova, J.Zemek
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

  • [雑誌論文] プラズマを利用した高分子の表面改質2005

    • 著者名/発表者名
      稲垣訓宏
    • 雑誌名

      材料の科学と工学 42

      ページ: 2-7

  • [図書] Materials Surface Processings by Directed Energy Techniques, Chapter 20 : Plasma Films produced by Plasma Polymerization2006

    • 著者名/発表者名
      N.Inagaki (Y.Paulean, Ed.)
    • 総ページ数
      50
    • 出版者
      Elsevier

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公開日: 2007-04-02   更新日: 2016-04-21  

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