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2006 年度 実績報告書

高分解能マイクロX線回折測定による半導体材料・デバイスのナノスケール歪分布計測

研究課題

研究課題/領域番号 17360015
研究機関(財)高輝度光科学研究センター

研究代表者

木村 滋  (財)高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 主幹研究員 (50360821)

研究分担者 坂田 修身  財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門 表面構造チーム, 主幹研究員 (40215629)
キーワードX線回折 / シンクロトロン放射光 / 歪み / 微小領域 / 界面物性 / 薄膜
研究概要

次世代の半導体デバイスの構造は,サブミクロンオーダーでの高機能化,高集積化とともに,その領域での精緻な構造・組成のデザインおよび制御が重要になっている.そのため,デバイス中の各パーツの結晶構造や応力分布もまた多様化しており,デバイスの特性や寿命の劣化を引き起こす原因にもなっている.これらデバイス特性の向上には,劣化原因である局所的な格子歪や結晶組成を解析し,最適な構造にすることが必要である.本研究の目的は,次世代デバイス開発を目指し,デバイス中のサブミクロンの領域を,格子歪Δd/d〜10^<-5>という高感度で評価できる高分解能マイクロX線回折法を開発することである.平成18年度の開発では,以下の研究開発項目を実行した.
1.高分解能マイクロX線回折システムの改良:これまで,本システムはBL46XUで開発してきたが,分光器が水冷式のため熱歪により放射光のコヒーレンス度が劣化する問題があった.このため,ビームサイズが900nm程度にとどまっていた.そこで,本回折計の架台部分を改造し,液体窒素冷却分光器を備えたアンジュレータビームラインBL13XUで実験を行えるようにした.これにより,これにより、垂直方向のビームサイズが500nmになった。
2.歪緩和SiGe緩衝層の局所歪測定:開発した高分解能マイクロX線回折システムにより歪緩和SiGe緩衝層の局所歪測定を行った。その結果、サブミクロンサイズのドメイン構造を評価できることが分った。
3.GaN系レーザ構造の局所領域歪計測:サブミクロンサイズに集光されたX線ビームを使用することで、レーザのリッジストライプの微小領域でのX線回折を測定することができた。リッジストライプ領域で得られたX線ロッキングカーブは、ストライプ領域以外のデータとの比較において大きな変化が観測され、リッジストライプ領域には局所的な歪みが生じていることが確認された。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (4件)

  • [雑誌論文] 放射光マイクロX線回折法による歪緩和SiGeバッファー層の評価2007

    • 著者名/発表者名
      木村 滋
    • 雑誌名

      機能材料 27・3

      ページ: 59-65

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Development of a High-Angular-Resolution Microdiffraction System for Reciprocal Space Map Measurements2006

    • 著者名/発表者名
      Shingo Takeda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・39

      ページ: L1054-L1056

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Local strain in SiGe/Si heterostructures analyzed by X-ray microdiffraction2006

    • 著者名/発表者名
      Shogo Mochizuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 508

      ページ: 128-131

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Development of a High-Angular-Resolution Microdiffraction System for Reciprocal Space Map Measurements2006

    • 著者名/発表者名
      Shingo Takeda
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 309-311

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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