• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2006 年度 実績報告書

生体内埋め込みナノアクチュエータ用極薄膜圧電材料創製技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17360055
研究機関大阪工業大学

研究代表者

仲町 英治  大阪工業大学, 工学部, 教授 (60099893)

研究分担者 上田 整  大阪工業大学, 工学部, 教授 (10176589)
上辻 靖智  大阪工業大学, 工学部, 助教授 (00340604)
キーワード圧電材料 / 生体適合 / スパッタリング / 薄膜 / 結晶配向度 / 第一原理計算 / 分子材料設計 / 基板
研究概要

1.第一原理計算に基づく生体適合3元素圧電材料の分子材料設計および圧電特性d_<31>の予測=上辻・上田・仲町は第一原理計算により生体適合性を有するペロブスカイト型正方晶結晶構造を持つ3元素生体適合圧電材料の分子設計を行った.本年度はフォノンのソフト化による相転位可能性を検討することができる第一原理計算プログラム(CASTEP)により誘電率および圧電定数d_<31>の予測を行い,昨年度選定したMgSiO_3に加え,MnSiO_3およびCaSiO_3を候補材料として選択した.多結晶圧電薄膜の特性予測のための結晶均質化有限要素解析手法を開発した.
2.ヘリコン波スパッタリング装置によるBio-MRMS用生体適合圧電材料創製技術の開発:仲町・上辻は昨年度に引続き生体適合圧電材料MgSiO_3の成膜を目指して,ヘリコン波スパッタ装置を用いて創製条件探索を行った.創製条件として,温度,ターゲットの組成,基板材料,圧力,酸素流入量,照射時間を考慮し,実験計画法および応答曲面法を用いた最適創製条件探索を行った.しかし,昨年度創製したMgsiO_3薄膜は表面性状および結晶構造に問題が残った.本年度は結晶方位{111}への配向度が低いことを解消するために,中間バッファ層としてイリジウムを採用した.本中間バッファ層とMgSiO_3の成膜条件を統合的に探索し,最適な創製条件を求めた.圧電定数d33が29.8pm/V,表面粗さR_<max>が58nmを得た.しかし,なお結晶方位{111}への配向度が十分でなくポストアニール条件等の検討を進めることにした.
3.ESCA・XRD・EBSD・LCR・自作圧電特性計測装置・細胞培養試験装置による生体適合圧電材料の機能評価:仲町・上辻は昨年度に引続き3元素生体適合極薄膜圧電材料の機能評価実験を行った.試験項目は,(1)ESCAによる元素分析,(2)XRD・EBSDによる結晶構造解析,(3)SEM・AFMによる表面性状計測,(4)本科研費補助によって購入した"ダブルビーム圧電評価システム"による圧電特性計測,(5)細胞毒性検査による生体適合性評価実験,の5項目の評価を行った.

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (6件)

  • [雑誌論文] A Study on Bio-Compatible Piezoelectric Materials by First Principles Calculation2007

    • 著者名/発表者名
      Uetsuji, Y, Imoto, K, Kumazawa, K, Tsuchiya, K, Ueda, S, Nakamachi E.
    • 雑誌名

      Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 1・2

      ページ: 191-201

  • [雑誌論文] Evaluation of Ferroelectric Properties of Piezoelectric Ceramics Based on Crystallographic Homogenization Method an Crystal Orientation Analysis by SEM-EBSD Technique2006

    • 著者名/発表者名
      Uetsuji, Y, Yoshida, T, Yamanaka, T, Tsuchiya, K, Ueda, S, Nakamachi E.
    • 雑誌名

      JSME Int.J.,Ser.A 49・2

      ページ: 209-215

  • [雑誌論文] 第一原理計算による新規生体適合圧電材料特性評価2006

    • 著者名/発表者名
      上辻靖智, 大西倫之, 槌谷和義, 仲町英治
    • 雑誌名

      日本機械学会講演論文集第19回計算力学講演会 06・09

      ページ: 633-634

  • [雑誌論文] 晶系判別および第一原理計算による生体適合無鉛圧電材料の構造評価2006

    • 著者名/発表者名
      上辻靖智, 熊澤完信, 大西倫之, 槌谷和義, 仲町英治
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編) 72・722

      ページ: 1472-1478

  • [雑誌論文] Development of Mgsio_3 Biocompatible Piezoelectric Film for Bio-MEMS Actuator2006

    • 著者名/発表者名
      MAEDA, K, UENOYA, T, TSUCHIYA, K, UETSUJI, Y, NAKAMACHI,E
    • 雑誌名

      Proc.of SPIE Conference 6415・26

      ページ: 49

  • [雑誌論文] 生体適合圧電薄膜Mgsio_3の創製技術の開発2006

    • 著者名/発表者名
      前田健次郎, 槌谷和義, 上野谷敏之, 上辻靖智, 仲町英治
    • 雑誌名

      日本機械学会 2006年度年次大会講演論文集 06・01

      ページ: 433-434

URL: 

公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi