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2007 年度 実績報告書

高機能3次元微細構造のための新レーザ微細加工に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 17360057
研究機関埼玉大学

研究代表者

池野 順一  埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (10184441)

研究分担者 澁谷 秀雄  埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (80303709)
キーワードレーザ加工 / 微細加工 / 表面機能 / ガラス / 成形加工 / 反射防止 / 転写加工 / 光学ガラス
研究概要

光通信やIT産業の著しい発展に伴って、高効率導光板,様々なサイズからなる凹凸マイクロレンズアレイ,ディスプレイ表面の正反射防止フィルム,非球面マイクロレンズなど高付加価値で高機能な3次元微細構造を創成する超精密微細加工技術が問題になっている。すなわち,多品種少量生産に対応し,かつ世界市場で十分な競争力を持った独創的技術が強く望まれている。そこで本研究では,高機能3次元微細構造を創成するための3つの新たなレーザ微細加工法を提唱し,その確立を目指した。
1)自己精度収束効果を利用した創成法…レーザ照射によって微細な窪みをガラス基板上に形成し,その後エッチングを行いえば,窪みは深さを変えずに形状を変え真球面に近似する。ガラス基板上に反射率・透過率の制御が可能なφ30μm,深さ0.1μmの球面(凹)アレイを形成し,FPD表面の正反射防止かつ透過促進機能を格段に向上させることができた。また,配列を制御することで六角形,四角形,三角形のディンプルを形成することが可能となった。
これにより,表面微細形状の新たな制御創成法を見出した。
2)レーザ重複効果を利用した創成法…光学ガラスに対し,パルスYAGレーザ(λ=1064nm)を照射すると,レーザは試料内部まで吸収され,転位点に達し表面に凸部を形成する。この凸部に型を転写することで,今までレーザ照射だけでは不可能であった複雑な微細形状をガラス表面に創成することが可能となった。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2007

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (1件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Nano-abrasive machining of brittle materials and its application to corrective figuring2007

    • 著者名/発表者名
      Osamu Horiuchi, Junichi Ikeno, Hideo Shibutani, Hirofumi Suzuki, Yoshiaki Mizukami
    • 雑誌名

      Precision Engineering 31

      ページ: 47-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Laser Micro-fabrication for Creating Surface Functions2007

    • 著者名/発表者名
      M.Wakabayashi, J.Ikeno, H.Shibutani
    • 雑誌名

      Proceedings of The Twenty-second Annual ASPE Meeting 22

      ページ: 461-464

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ナノ粒子の表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法に関する研究(第2報)2007

    • 著者名/発表者名
      熊谷 慎一朗, 池野 順一
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集

      ページ: 867-868

  • [雑誌論文] レーザを併用したガラスの微細成形法に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      付強, 若林 正毅, 池野 順一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会学術講演会ATEC2007講演論文集

      ページ: 371-372

  • [雑誌論文] 鏡面微細形状を創成するレーザ加工2007

    • 著者名/発表者名
      若林 正毅, 池野 順一, 鈴木 章彦, 安斎 正博
    • 雑誌名

      砥粒加工学会学術講演会ATEC2007講演論文集

      ページ: 391-392

  • [学会発表] レーザカラーマーキングに関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      池野順一
    • 学会等名
      レーザ協会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2007-06-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [図書] 微細加工と表面機能ナノ・マイクロ構造による光学、摩擦、ぬれ等の機能実現(pp119-129)2007

    • 著者名/発表者名
      池野 順一(分筆)
    • 総ページ数
      200
    • 出版者
      株式会社リアライズ
  • [産業財産権] ガラス着色方法及び記録媒体2007

    • 発明者名
      池野 順一
    • 権利者名
      埼玉大学
    • 産業財産権番号
      2007-223634
    • 出願年月日
      2007-08-30

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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