• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2005 年度 実績報告書

ナノ金型のための超高精度で極低価格なマイクロリソグラフ技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17360061
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

田辺 郁男  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (30155189)

研究分担者 水谷 淳之介  富山商船高等専門学校, 電子制御工学科, 助教授 (70166015)
キーワードナノ金型 / リソグラフ / マイクロリソグラフ / レーザ加工 / レーザ発色 / ホログラフ
研究概要

平成17年度は,(1)高精度な発色制御,(2)発色安定化のためのタグチメソッドによる管理,(3)超高精度,極低価格なマイクロリソグラフ技術を構築の三つを研究テーマとして挙げており,各研究実績を以下に示す.
(1)高精度な発色制御
高精度発色制御のシステムづくり,実験,評価を100%完了し,当初の目的を達成した.
(2)安定化ためのタグチメソッドによる管理
とくに発色が困難な緑系色,赤系色に関して,タグチメソッドによる品質工学の技術を用いて,レーザ照射条件の中から,安定して発色するための制御因子の決定を行なった.具体的には,温度,湿度,電源安定性などの環境因子,レーザのフォーカス誤差などをそれぞれ誤差因子,レーザ出力電圧,トラッキング回数,ディフォーカス量,照射速度を制御因子として,各制御因子から酸化膜厚と発色を安定して生成できる制御因子を決定した.しかし,この作業は,タグチメソッドで行うよりも,ニューラルネットワークを用いた逆解法のほうが有効であることが判明し,以後,このシステムを使用することにした.
超高精度,極低価格なマイクロリソグラフ技術を構築
高さ精度に関して,目視色観察によって10nm程度の精度で,生成された膜厚の誤差を把握することができ,さらに,その目視色観察の結果と先の発色と酸化膜厚の互換図を利用して,さらに仕上げのためのレーザ追照射する手法の確立とその評価を行った.
この目視色観察によって10nm程度の精度で高さの精度をチェックできることで,このマイクロリソグラフ技術は,高価な計測装置を要しないこと,加工に真空環境を必要としないこと,リアルタイムでチェックと追加工が可能であることなど特長を有しており,従来のナノ加工に比べてきわめて生産性が高く,極低価格な加工技術になることが提案できた.

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2006 2005

すべて 雑誌論文 (3件)

  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する環境因子,鋭敏色,寿命の考察)2006

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 他2名
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 72巻.713号

      ページ: 235-240

  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する鋭敏色の制御)2005

    • 著者名/発表者名
      田辺郁男, 島崎拓也, 品田正人
    • 雑誌名

      電気加工学会全国大会(2005)講演論文集 2005年版

      ページ: 5-8

  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工2005

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 他2名
    • 雑誌名

      第65回レーザ加工学会大会講演論文集 2005年版

      ページ: 291

URL: 

公開日: 2007-04-02   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi