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2006 年度 実績報告書

集積冷却チャネルを有する積層インテグレーションチップの設計・実装

研究課題

研究課題/領域番号 17360068
研究機関東京大学

研究代表者

土屋 健介  東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (80345173)

研究分担者 中尾 政之  東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 (90242007)
濱口 哲也  東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授 (90345083)
キーワード冷却 / チャネル / 積層チップ / シール / 溶接
研究概要

本研究は、積層形のマイクロチップに共通する抜熱とシールの問題に注目して、冷却配管の集積化技術と層間接合技術を開発し、冷却チャネルやセンサをインテグレーションした積層チップを設計・実装することを目的とする。
近年、微細な流路の中で物質を化学反応させるデバイスが注目されているが、さらなる高集積化のために積層すると放熱距離が長くなり、内部に熱がこもる。局所的には伝熱の効率が上がっているが、全体のとしては伝熱効率はマクロな構造と変わらず、温度に関しては小さくしたメリットが失われている。また、反応の並列化のために、積層形の微細流体システムが数多く提案されているが、層間のシールが難しいため、実際にはほとんど実現されていないのが現状である。これらの問題を解決するために、抜熱とシール技術を開発した。
具体的には、まず金属製の積層チップにターゲットを絞って、化学反応用の流路の他に温度や圧力等のセンサを集積化したプロトタイプを試作した。また、外部とのジョイントや、熱電対アレイなどの機能要素の小形化を図り、それらを集積化したときのレイアウト・流路設計を行い、試験的に3層のチップを試作した。試作したチップの評価のために、熱水・冷水の熱交換実験、およびベンゼンのニトロ化反応を行った。その結果、微細流路を用いていること、反応流路の他に冷却流路を統合していることの2点についてその効果を実証できた。また、抜熱性能を高めるにはチップの全面を接合する必要があること、また、1プロセスで多層を接合するには拡散接合のような一括プロセスがより有効であることを示した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2006

すべて 雑誌論文 (4件)

  • [雑誌論文] Development of On-the-Machine cutting tool re-generating technology applying composite electroplating-employment of cobalt matrix and vacuum annealing to produce edge layer with strong adhesiveness-2006

    • 著者名/発表者名
      K.Yanagihara, Y.Tani, K.Tsuchiya
    • 雑誌名

      Progress of machining technology (Proceeding sof the eighth international conference on progress on machining technology)

      ページ: 225-228

  • [雑誌論文] Optical Near-field Directed Patterning of Submicron-sized Particles2006

    • 著者名/発表者名
      Morii, H., Ooi, T., Tsuchiya, K., Hamaguchi, T., Nakao,M.
    • 雑誌名

      Proc.ASPE Annual meeting 2006

      ページ: 107-110

  • [雑誌論文] Near-field Polarimetry Using Scanning Probe Microscope with Sub-wavelength Aperture Cantilever2006

    • 著者名/発表者名
      Tsuchiya, K., Muragishi, T., Ooi, T., Mori, H., Hamaguchi, T., Nakao,M.
    • 雑誌名

      Proc.ASPE Annual meeting 2006

      ページ: 317-320

  • [雑誌論文] Large Area Optical Devices with Glass-pressed/Metal-embedded Subwavelength Grating2006

    • 著者名/発表者名
      Tsuchiya, K., Komiya, A., Suzuki, H., Ooi, T., Mori, H., Hamaguchi, T., Nakao,M.
    • 雑誌名

      Proc.ASPE Annual meeting 2006

      ページ: 611-614

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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