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2006 年度 実績報告書

垂直磁化型不揮発性磁気ランダムアクセスメモリーの低電流書き込み技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17360137
研究機関東京工業大学

研究代表者

中川 茂樹  東京工業大学, 大学院理工学研究科, 助教授 (60180246)

キーワードデータストレージ / 磁気ランダムアクセスメモリ / MRAM / 垂直磁化MRAM / 磁化反転 / 応力誘起磁気異方性 / スピンエレクトロニクス / 希土類-鉄合金
研究概要

本研究で提案する低電流磁化反転技術の基本原理をひきつづき確認するとともに,より効果が大きく表れるように材料組成や作製技術,加工技術などに改良を加えた。このことにより,磁化容易方向を機械的応力の印加により膜面垂直方向から面内方向に完全に回転させることに成功し,この条件を用いて実際に応力印加と磁場印加を同時に加えた反転シーケンスを設計し,最終的にはもともとの垂直磁化膜の保磁力の1/6という弱い磁界で反転できる薄膜をえることに成功した。磁歪定数の大きな垂直磁化膜の候補として,Dy_x(FeCo)_<1-x>膜について,実際に応力を機械的手法で導入したときの磁化特性の変化,また応力の大きさ・方向に対する線形性・感度や膜厚比などのサイズ効果などについて詳細な検討を行った。薄いディスク状カバーガラス基板の中央部に異常Hall効果を測定する垂直磁化膜を作製し,基板中央部への面法線方向への変位を加えた状態にすることで膜への面内方向の応力を印加することができるようにし,また変位量を可変できる機構を作製し,印加応力量と磁化特性の変化を系統的に観測することに成功した。これを強磁性膜自身の異常Hall効果で磁化特性を観測することにより強磁性Dy_x(FeCo)_<1-x>膜への応力印加が磁化反転磁界を大きく低下させるのみでなく,膜面垂直方向から面内方向に完全に回転させることに成功した。このことにより印加磁界を約1桁小さくしても磁化反転が引き起こせるような磁化反転用の応力・磁場印加シーケンスを提案し,実際に1/6程度の弱い磁界で反転できることを確認した。膜組成としてTbを加えることにより磁化特性変化も大きくすることができた。また機械的な応力印加では膜内の応力が不均一になることで,磁化特性変化の膜面内での不均一さが誘導され,一種のサイズ効果が引き起こされているなどの重要な知見を得ることができた。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (11件)

  • [雑誌論文] Magnetization reversal process of DyFeCo films under an addition of mechanical stress for application of MRAM2007

    • 著者名/発表者名
      M.Yamada, N.Tokuriki, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 310巻・2号

      ページ: 2618-2620

  • [雑誌論文] Evaluation of magnetization behavior of Soft/RE-TM layer for perpendicular MRAM by anomalous Hall effect2007

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Hatori, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 310巻・2号

      ページ: 1657-1659

  • [雑誌論文] Improvement of in-plane anisotropy field in FeCoB/NiFe/Si thin films by Kr sputtering2007

    • 著者名/発表者名
      A.Hashimoto, S.Ito, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 310巻・2号

      ページ: 2636-2637

  • [雑誌論文] Fabrication of CoCrPt-SiO2 films on flexible tape substrate using facing target sputtering system2007

    • 著者名/発表者名
      H.Fujiura, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 310巻・2号

      ページ: 2659-2661

  • [雑誌論文] Magnetization reversal technique of DyTbFeCo films at magnetic field as low as 1/6 of coercivity using a stress-induced magnetic anisotropy2007

    • 著者名/発表者名
      Michiya Yamada, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 43巻・6号(To be published)

  • [雑誌論文] Stress Induced Enhancement of Magnetization Reversal Process of DyFeCo Films With Perpendicular Magnetization2006

    • 著者名/発表者名
      S.Nakagawa, M.Yamada, N.Tokuriki
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 42巻・11号

      ページ: 3773-3775

  • [雑誌論文] Magnetization reversal enhancement using stress-induced effects for RE-TM perpendicularly magnetized thin films2006

    • 著者名/発表者名
      M.Yamada, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告 MR2006

      ページ: 56-71

  • [雑誌論文] Effects of Ru under layer for CoCrPt-SiO2 magnetic recording tape media2006

    • 著者名/発表者名
      H.Fujiura, M.Anuar, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告 MR2006

      ページ: 41-46

  • [雑誌論文] Trial to Deposit (001) Oriented FePt Thin Films in as-Deposited State using Fe/Pt Bilayered Structure2006

    • 著者名/発表者名
      J.Ikemoto, T.Kitagawa, T.Kamiki, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Magneto-Optical recording International Symposium 2006 Proceedings of MORIS2006

      ページ: WeX-09

  • [雑誌論文] RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Thin Films2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nagasawa, K.TAMAI, K.Nomura, Y.Murashima, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14), Proceedings of ICCE-14 2c

      ページ: 6

  • [雑誌論文] BST(Ba0.5Sr0.5TiO3) Thin Films Prepared at Low Sputtering Gas Pressure by RF-Facing Targets Sputtering2006

    • 著者名/発表者名
      K.TAMAI, M.Nagasawa, K.Nomura, Y.Murashima, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14), Proceedings of ICCE-14 2c

      ページ: 5

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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