| 研究課題/領域番号 |
17360165
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| 研究機関 | 岡山大学 |
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研究代表者 |
金 錫範 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (00287963)
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| 研究分担者 |
村瀬 暁 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 (10312597)
七戸 希 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 助教 (80362953)
宝川 幸司 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (30257406)
黄 啓新 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (30257414)
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| キーワード | 磁気センター / 半導体微細化 / 半導体微細接合 / 磁場可視化 / 2軸磁場成分測 / 酸化物超伝導薄膜 |
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| 研究概要 |
本研究は、2軸方向の磁場成分(Bz, Bx)が同時に測定可能で、その空間分解能は1μm以下、そして1ガウス以下の微弱磁場が測定可能なホール素子を1次元的に集積するマイクロスケールのホール素子アレイの開発と、ホール素子を用いた磁場測定においてリアルタイムで磁場分布特性を可視化する計測装置の開発を目的として行ったものであり、本年度の研究実績は下記のようになる。
1.2軸方向磁場成分測定用ホール素子の開発
最終年度である本年度においては、昨年に続きエピタキシャルリフトオフ(ELO)法を用いてInGaAs薄膜を用いるホール素子の開発を行った。開発したInGaAs薄膜によるホール素子およびホール素子アレイはホール効果による発生電圧が比較的に低く、ホール電圧の大きさにばらつきがあったため、より精度よく形状作製を行う必要があると思われる。そのためには、不純物濃度や膜厚の最適化と共に2次元形状製作方法の確立が必要であると思われる。
2.磁場可視化装置の開発
単一のホール素子の場合は、高精度の電圧計と定電流源が各1台あれば計測可能である。しかしながら、100個以上のホール素子をアレイする本研究の場合、ホール素子の数だけの電圧計を使用するのは不可能である。そこで、昨年に引き続き、一つの電圧計で測定ができるようにスイッチング素子と電子回路を用いて順次に各ホール素子の微弱電圧が測定できる回路の開発を行った。また、他の方法として安価の電子回路用素子により構成される多チャンネル電圧増幅用アンプの作製を行った。そして、開発したホール素子および既製品のホール素子を用いて開発した計測システムの妥当性について実験的に検討を行い、開発した計測システムが充分に活躍できることを確認した。
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