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2005 年度 実績報告書

ペロブスカイト薄膜における特異的準安定ナノ構造と電子輸送特性に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 17360324
研究機関静岡大学

研究代表者

藤本 正之  静岡大学, イノベーション共同研究センター, 教授 (60372520)

研究分担者 大野 智也  北見工業大学, 機能材料工学科, 助手 (90397365)
キーワード酸化物薄膜 / 電子輸送特性 / ナノ構造 / 高速抵抗変化
研究概要

(Pr1-xCax)MnO3(x=0.4,0.5)薄膜の超巨大磁気抵抗効果(CMR)は成長基板からの応力に著しい影響を受けることが報告されている。しかしながらこの領域では、斜方晶空間群Pbnmのa,b比は1に近く、そのため擬似立方晶a_p=0.385nmを基にした各種単結晶基板上でのエピ成長とそれに伴う結晶歪が議論できるが、相境界組成x=0.3では、a,b比が1に近似できなくなり、擬似立方晶を単斜晶として取り扱わねばならなくなる。それ故相境界組成では従来報告されている応力歪の発生と電子輸送特性とが大きく異なることが予想される。そこでSrTiO3(001)単結晶基板(以下STO)およびSi基板(111)配向Pt電極上にRFスパッタにより相境界組成(Pr1-xCax)MnO3(x=0.3)(以下PCMO)薄膜を成膜して、そのナノ構造を詳細に調べた。その結晶方位関係は従来報告のない<110><001>PCMO//<100><010>//STO、<001><110>PCMO//<100><010>STOであり、強誘電体ドメインと同様のナノ構造を形成することが解明された(Appl.Phys.Lett投稿中)。またCMR素子を実用的に作製する上で重要なSi基板(111)配向Pt電極においては、Pt(111)上の3つの基本結晶方位[-110][-1-12],[0-11][2-1-1],[10-1][-12-1]に規定されたPCMO(102),(100),(112)の3種類のエピ成長が確認され、成膜温度で配向比率が変化する。今後これらエピ成長膜の電子輸送特性を調べる予定である。
また、TiN上のTiO2膜でナノ秒オーダーの極性パルスにより40,000%の抵抗スイッチングを確認し、HR-TEMにより確認されたアナターゼ構造からモット転移による機構が推定されることを発表した(JJAP Exp.Lett)。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2006

すべて 雑誌論文 (4件)

  • [雑誌論文] High-speed Resistive Switching of TiO2/TiN Nano-crystalline Thin Film2006

    • 著者名/発表者名
      M.Fujimoto, H.Koyama, Y.Hosoi, K.Ishihara, S.Kobayashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.45, No11

      ページ: L310-L312

  • [雑誌論文] Formation of (111) Nanotwin Lamellae Hillock in Polycrystalline Silicon Thin Films Caused by Deposition of Silicon Dioxide layer2006

    • 著者名/発表者名
      S.Imai, M.Fujimoto
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 88

      ページ: 021912

  • [雑誌論文] Formation of SiO2/SiC Structure at 〜120℃ by use of Nitric Acid Oxidation Method2006

    • 著者名/発表者名
      S.Imai, M.Fujimoto, Asuha, H.Kobayashi
    • 雑誌名

      Surface Science 600

      ページ: 547-550

  • [雑誌論文] Chemical Solution Deposition of PZT/Oxide Electrode Thin Film Capacitors with Preferred Orientation on Si Substrate2006

    • 著者名/発表者名
      H.Suzuki, Y.Miwa, T.Ohno, M.Fujimoto
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 301

      ページ: 269-272

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公開日: 2007-04-02   更新日: 2016-04-21  

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