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2007 年度 実績報告書

レーザープラズマ軟X線による透明材料のナノ加工とナノ物質創製

研究課題

研究課題/領域番号 17360348
研究機関筑波大学

研究代表者

牧村 哲也  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 (80261783)

研究分担者 村上 浩一  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 教授 (10116113)
キーワードレーザープラズマ軟X線 / 透明材料 / 無機材料 / ナノ加工 / 光直接加工 / シリカガラス / 軟X線光学系
研究概要

本研究では,レーザープラズマ軟X線をパターニングして材料の加工および物質の創製/造形を行う方法を明らかにすることを目的とする.平成19年度は,第一に軟X線と他の反応源・エネルギー源と組み合わせた新しい加工法を探索すること,第二に軟X線アブレーションの過程を明らかにすることを計画した.第一の研究により,XeF2ガスと軟X線によるシリコーンゴム(PDMS)の高速エッチングを見出した.PDMSはバイオテクノロジー等において欠くべからざる材料であり,現在型取りと基盤への自己吸着により流路等の構造が作製されている.特に,垂直方向への孔開けは困難であるし,時間,コストの点で100~nmから10mmの長さ領域における型を作製することは困難である.本研究では,PDMSをレーザープラズマ軟X線で直接加工できることを明らかにした.さらには軟X線源としてパワー密度が低いシンクロトロンからの軟X線を用いても,反応性の高いXeF2ガスを用いることで,100μm/分程度の高速エッチングが可能であることを見出した.第二の研究により,シリカガラスの軟X線加工過程を明らかにした.一般に,レーザー光を照射して加工する加工法では,吸収された光のエネルギーにより被加工物が加熱,溶融され加工形状が制限される.一方,シリカガラスにレーザープラズマ軟X線を照射した場合,結合を切るのに十分なエネルギーが被加工物に与えられて原子状に解離され,さらには全体の数%から十数%がイオン化されることを見出した.そのイオン間の反発力により,アブレーション加工が起きることが示唆される.これにより10nmのスケールでも光直接加工を実現できていると考えられる.

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Manicure, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6886

      ページ: 658609-658624

  • [雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, H. Miyamoto, S. Uchida, H. Niino, K. Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics 59

      ページ: 279-284

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 1.5μm Light Emission of Er3+ Ions Doped in SiO2 Films Including Si Nanocrystallites and in SiOx Films2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, H. Uematsu, Y. Okada, K. Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics 59

      ページ: 466-469

    • 査読あり
  • [学会発表] EUV材料プロセス2008

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学 船橋キャンパス
    • 年月日
      2008-03-28
  • [学会発表] EUVアブレーション2008

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      2008-03-21
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線による透明材料のアブレーション2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部特別講演会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス
    • 年月日
      2007-11-22
  • [学会発表] Process of silica nano-ablation using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
    • 学会等名
      9th Conference on Laser Ablation 2007
    • 発表場所
      テネリフェ,スペイン
    • 年月日
      2007-09-28
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションプロセス2007

    • 著者名/発表者名
      藤森隆成, 牧村哲也, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるSiO2およびSiのアブレーション2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
  • [学会発表] Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, S. Uchida, T. Fujimori, H. Niino, K. Murakami
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      ウィーン
    • 年月日
      2007-04-28
  • [学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays(招待講演)2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
    • 学会等名
      Optics and Optoelectronics 2007
    • 発表場所
      プラハ,チェコ
    • 年月日
      2007-04-18

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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