| 研究課題/領域番号 |
17360349
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 助教授 (30176911)
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| 研究分担者 |
越崎 直人 産業技術総合研究所, 界面ナノアーキテクトニクス研究センター, 研究チーム長 (40344197)
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| キーワード | 超臨界流体 / 超臨界流体プラズマ / 材料表面加工プロセス / 堆積 / クリーニング |
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| 研究概要 |
(1)プロセス診断
誘電体バリア放電をベースにしたCO_2およびXe超臨界流体プラズマのな発生を行い、リサージュ測定からその電子密度が10^<18-22>cm^<-3>という超高密度であることを明らかにした。またクラスタリングした活性種の存在を確認するための顕微レーザーラマン分光システム、顕微発光分光システムの構築も行なった。CO_2超臨界プラズマの顕微ラマン分光より、ラマンピークの低波長側へのシフトが見られ、通常考えられる、温度の上昇による効果とは逆のシフトであり、分子の形態の変化が示唆された。クラスターの存在への可能性が期待される。また、増強ラマン分光法の予備実験も始め、水において臨界点近傍での特異的なピークの出現が観測された。現在微視的なクラスターモデルとの対応を進めている。
(2)材料表面加工技術への応用
カーボン系およびCu系ナノ構造物質合成プロセスへの応用を行った。scCO_2中でのプラズマプロセスにより、臨界点付近で特にCO_2を炭素源としてカーボンナノチューブ、カーボンナノホーン等、多量のカーボン系ナノ構造物質の合成に無触媒で成功し、新たな反応経路を利用した物質合成を実現した。さらに、scCO_2の高い溶解度を生かし、有機金属を利用したプロセスにおいてもCu系膜堆積にも成功し、合わせてプロセスの低温性、高速性、非平衡性などを実証した。
最後にナノトレンチ、ナノポーラスマテリアルへのカーボン埋め込みの予備実験にも着手した。
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