| 研究概要 |
筆者は小流量の測定が可能な流量センサとして層流形比例素子(Laminar Proportional Amplifiers以下LPAと略す)を用いたLPAフィードバック発振流量センサの構造を考案し,その特性を検討してきた.
本年度の研究は次のように進めた。
1)流量センサの加工
層流形比例素子を用いた流量センサの形状(主ノズル幅、フィードバック流路の長さ、幅,アスペクト比及び入力部寸法等)の寸法を種々変えたセンサを多数作製した.(センサを精密に加工するためワイヤーカット放電加工機を使用した.)
2)特性実験
作製した素子の特性実験を進め、寸法形状と特性の関係を検討した.(流量と発振周波数の関係,形状と発振周波数の関係式を明らかにする.)
またFFTアナライザーは特性実験の際に,特性を正確に,効率良く測定するため,噴流偏向等の実験と発振周波数解析のため熱線風速計を用いた.
3)最適化の検討
微小流量が測定でき,安定して動作する流量センサの最適な形状と寸法を検討した.
これまでの研究よりLPAとフィードバック流路を同一平面に加工した流量センサでは測定範囲の拡大が可能であり,また発振周波数とセンサを構成する形状と寸法に密接な関係が有ることがわかった.
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