| 研究概要 |
平成18年度に提案した電気的性質が時間的に変化する微小ギャップ部分の性質に合わせた電磁波発生源としてのモデルの妥当性と有効性を検証した.伝送線路終端の放電電極先端とグランドプレーン間にある微小ギャップ部分に放電を起こすため,ギャップ間隔をDCマイクロアクチュエータで制御できる装置および放電電流を推定するためのシステムを構成した.電流センサを伝送線路上空に設置し,その出力電圧波形と磁界複素アンテナ係数から,設置位置で磁界波形を再生した.ここでは,アンペールの法則が成り立つものと仮定し,磁界波形から電流波形を計算,推定した.また,電界センサ及び磁界センサをグランドプレーン上に設置し,それらの出力電圧波形と複素アンテナ係数から,放電によって発生する電磁界を測定した.推定電流から計算した電磁界と,測定した電磁界との比較検討を行い,放電電流と電極形状より発生する電磁界を計算,予測できることを示した.
低電圧のESDは広帯域の電磁界を放射することが知られているが,ESD放射電磁界の電圧依存性についてはこれまで十分検討されていなかった.そこで,平成18年度に試作した方形半ループ電極構造の模擬ESD発生装置を用い,電源電圧を400V〜2000Vとして,放射電磁界の測定およびFDTD法によるシミュレーションを行い,印加電圧とESD放射電磁界との関係を明らかにした.
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