• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2008 年度 実績報告書

電解水を用いた電子・電気材料の超精密洗浄

研究課題

研究課題/領域番号 17560630
研究機関信州大学

研究代表者

佐藤 運海  信州大学, 教育学部, 准教授 (30345730)

キーワード電解還元水 / 電解酸化水 / 銅合金 / リードフレーム / Fe-42wt%Ni alloy / 表面脱脂洗浄 / 酸化皮膜除去 / 溶存酸素
研究概要

平成20年度において,主に金属イオン残渣除去,および電子・電気材料の表面酸化皮膜除去を目的として,リードフレーム用銅合金および,Fe-42wt%Ni合金,純鉄材,純ニッケル材などの表面に与える電解水の影響の解明について実験的な検討を行った.主な成果は次の通りである.
I. リードフレーム用銅合金について(精密工学会誌,Vol.74 No.9 2008年 pp.949-953)
(1) 検討内容: 希薄NaCl電解水がCu-2.3wt%Fe, Cu-3.0wt%Ni合金の表面に及ぼす影響についてHCl溶液と比較して検討を行った
(2) 検討結果: 電解還元水はこれらの合金の表面に影響を一切与えない.電解酸化水は,HCl溶液と比べ,これらの合金に対して,2倍以上の高いエッチング能力がある.また,電解酸化水は,銅合金表面の酸化皮膜除去に応用できるが,Cu-2.3wt%Fe合金の場合,処理時間が長くなると,電解酸化水中の溶存酸素が合金表面層に拡散してしまう可能性がある.
II. Fe-42wt%Ni合金(42材と略称)について(精密工学会誌,Vol. 74 No. 8 2008年 pp. 820-824)
(1) 検討内容: NaCl電解水がFe-42wt%Ni合金表面に及ぼす影響の解明と,エッチング性能の有無
(2) 検討結果: 電解還元水は42材の表面洗浄に応用でき,電解酸化水はHCl溶液と比べ,42材に対して高いエッチング性能がある.また,処理時間を最適化にすれば,42材の表面酸化皮膜を除去できる.

  • 研究成果

    (9件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (6件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Fe-42wt%Ni合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 竹ノ内敏一, 若林信一
    • 雑誌名

      精密工学会誌 74

      ページ: 820-824

    • 査読あり
  • [雑誌論文] リードフレーム用銅合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解酸化水の影響2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 竹ノ内敏一, 若林信一, 佐藤元太郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 74

      ページ: 949-953

    • 査読あり
  • [学会発表] 工業用純鉄の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響2009

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 竹ノ内敏一, 山崎隆夫
    • 学会等名
      2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
    • 発表場所
      中央大学後楽園キャンバス
    • 年月日
      20090311-20090313
  • [学会発表] 電解還元水を用いた純チタン材のエンドミル加工 -加工面の性状-2009

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 山崎隆夫, 竹ノ内敏一
    • 学会等名
      2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
    • 発表場所
      中央大学後楽園キャンバス
    • 年月日
      20090311-20090313
  • [学会発表] Fe-42wt%Ni合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 竹ノ内敏一, 若林信一
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス
    • 年月日
      20080917-20080919
  • [学会発表] リードフレーム銅合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解酸化水の影響2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 竹ノ内敏一, 南正良
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      明治大学生田キャンパス
    • 年月日
      20080317-20080319
  • [学会発表] 希薄NaCl電解酸化水の特性および金属に及ぼすエッチング作用2008

    • 著者名/発表者名
      中村耕介, 佐藤運海
    • 学会等名
      日本金属学会北陸信越支部・日本鉄鋼協会北陸信越支部平成20年度連合講演会概要集
    • 発表場所
      信州大学工学部
    • 年月日
      2008-12-06
  • [学会発表] 希薄Na_2SO_4電解水の特性の経時変化2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海, 中村耕介, 藤渾樹
    • 学会等名
      2008年度研究・開発成果発表会講演論文集(砥粒加工学会北信越加工研究分科冶)
    • 発表場所
      金沢工業大学 扇が丘キャンパス
    • 年月日
      2008-07-04
  • [産業財産権] 半導体装置の製造方法および電気工学装置2008

    • 発明者名
      佐藤運海, 他2名
    • 権利者名
      信州大学, EPSON
    • 産業財産権番号
      特願2008-116760
    • 出願年月日
      2008-04-28

URL: 

公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi