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申請者らが発案し、研究を行なってきた「イオン化CVD法」を展開し、これまで気相合成法では実現できなかった(1)粒径10nm以下の非凝集ナノ粒子を合成し、(2)基板上に沈着させ、短時間で高密度ナノ粒子薄膜を製造する技術の開発を目的とした高密度ナノ粒子薄膜合成システムを開発する。
H18年度は、下記3点について検討を行なった。
1.Co(CO)_3NO濃度、イオン化条件(圧力、印加電圧)、反応管温度、反応時間(キャリアガス流量)、捕集電極電圧を種々に変え、還元性ガス中でのナノ粒子の合成を試みた。
2.得られたナノ粒子のFE-SEMにより観察し、粒径、粒度分布、沈着密度を求めた。
3.ナノ粒子のTEM、EDX観察により、発生したナノ粒子の元素分析を行った。
これら結果から、粒径10nm以下の非凝集Coナノ粒子の合成条件を求めることに成功した。
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