| 研究課題/領域番号 |
17651080
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
田中 秀治 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (00312611)
戸津 健太郎 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60374956)
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| キーワード | マイクロマシニング / MEMS / ウェットエッチング / マクロポーラスシリコン / 垂直エッチング / マイクロマシン |
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| 研究概要 |
半導体技術を発展させた立体的微細加工技術である「マイクロマシニング」によってMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれる高付加価値部品が作られている。この加工ではフォトリソグラフィを基本にしており、基板上にパターンを一括転写したマスクを形成しておき、マスクで覆われていない部分を一括でエッチング加工する。特にシリコン基板に垂直に深くエッチングできることや、薄いダイアフラムを形成できることが要求される。反応性イオンエッチング(Deep RIE)でシリコン基板などを垂直に深くエッチングできるが、多数の基板を同時に処理できないため生産性が悪いため、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けるマクロポーラスシリコンを応用して生産性の高いウェット垂直エッチング技術を研究している。特に、垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持つ構造などを、このウェット垂直エッチング技術により、不純物濃度に対する選択性の違いを利用して薄いダイアフラムを形成する研究を行っている。光照射ではなく、エッチングされない面に形成したp型層から、pn接合の順方向バイアスで通電しホール注入を行うエッチング法に関しても研究を行っている。
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