• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2006 年度 実績報告書

走査型プローブ顕微鏡を用いた多種官能基の電気化学ナノパターニングと機能的分子集積

研究課題

研究課題/領域番号 17655058
研究機関東京大学

研究代表者

田中 健太郎  東京大学, 大学院理学系研究科, 助教授 (40281589)

研究分担者 塩谷 光彦  東京大学, 大学院理学系研究科, 教授 (60187333)
キーワードシリコン / 有機単分子膜 / 原子間力顕微鏡 / ハイドロシリレーション / 自発的集積化 / 赤外分光 / 陽極酸化
研究概要

シリコン基板上の有機単分子膜の構造・物性を制御することは、リソグラフィーや半導体産業などへの応用の観点から、今日まで広く研究されている。末端アルケンを用い、水素終端したシリコン(111)表面(H-Si(111))上にハイドロシリレーションによって作成した有機単分子膜は、(1)H-Si(111)の表面構造が原子レベルで規則的であること、(2)基板と有機分子がSi-C共有結合によって固定されることから、単分子膜の反応性と配向性がSi(111)の単結晶構造と有機分子の骨格構造の相関性に大きく影響されると考えられる。本研究では、ジアルキル型単分子膜2C18が、結晶性の非常に高い単分子膜を形成することを見出した。また、その結晶性の高さから、Si基板上で1層だけの有機単分子膜が安定な絶縁層となることを見出した。今後、有機FETなどの構築へ向けて検討を行う。

URL: 

公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi