| 研究課題/領域番号 |
17656252
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
奥山 喜久夫 広島大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00101197)
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| 研究分担者 |
島田 学 広島大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70178953)
WULED Lenggoro 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究員, 助教授 (10304403)
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| キーワード | 静電噴霧法 / ナノ粒子 / 帯電 / 液滴 / パターニング / サスペンジョン / 計測 / 静電気 |
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| 研究概要 |
静電噴霧法による液相合成ナノ粒子の帯電と基板上への沈着によるパターン化について検討し、以下のような成果を得た。
(1)静電噴霧装置の改良の検討を行った。前年度に作成した静電噴霧装置に、精密なシリンジポンプにより帯電ノズルに噴霧液を振り込んだ。次に、ノズルに数kV程度の直流をかけ、静電噴霧させた。ここで、液滴が発生した状態および安定性やイオンの生成速度や液滴の帯電状態などを計測した。
(2)静電噴霧法により大きさが数100nm以下の金、銀、鉄白金及びシリカのナノ粒子を発生させて、発生したナノ粒子の帯電量を微分型静電分級装置及び電流計により計測した。静電噴霧法により発生するナノ粒子は、単極の電荷を持つため、静電沈着(パターニング)には噴霧電圧とは逆の電圧の印加が可能な静電捕集機を用いた。
(3)静電噴霧の状態を変化させたときに発生するナノ粒子の粒子濃度と粒度分布を測定した。これにより、噴霧状態が安定で最も適切である条件が分かった。
(4)粒子を配列する基板上に帯電パターンを形成する方法について検討した。接触帯電法は、比較的容易に帯電パターンを形成することが出来たが、帯電が不十分になる可能性がある。そこで、電子ビームを用いた手法など、より安定した帯電パターンを形成できる方法で基板上の静電パターニングを検討した。試料の種類(金、銀等の金属粒子、シリカ粒子)や粒子径を変化させてパターニングを行った。また、粒子シミュレーションによる粒子の軌跡計算により、実験結果の妥当性を検討した。
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