|
本研究では、人工皮膚などセンサーを本格的に大面積化するためのプロセス技術と回路技術を確立することを目的とする研究を推進した。昨年までに、有機トランジスタ集積回路の大面積化に向けて、印刷でパターニングした電極によって集積回路を試作した。特に、ソース・ドレイン電極を印刷によって形成する際に、通常市販されている銀ペーストを用いると、有機半導体と良好なオーミック接合を形成しないため、集積回路を作製する際の課題となっていたが、金属ナノ粒子を有機トランジスタに活用することによって著しくオーミック性が改善されることを見出した。
本年度はこれらの成果をさらに発展させ、300×300平方mmのプラスチック基板上にインクジェット印刷とスクリーン印刷を利用して有機電界効果トランジスタの2次元アレイを作製した。素子数は45×45=2025個で、作製された有機トランジスタは有機半導体層以外はすべて印刷プロセスによって作製された。移動度は0。7平方cm/Vsであった。作製した有機トランジスタアクティブマトリックスと加圧導電ゴムを集積化することで圧力センサマトリックスへ応用し、イメージングの実験を行った。
|
