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2006 年度 実績報告書

高強度レーザー誘起プラズマCVD法によるセラミックス膜の超高速合成とナノ構造制御

研究課題

研究課題/領域番号 17686055
研究機関東北大学

研究代表者

木村 禎一  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (10333882)

キーワードレーザーCVD / ナノコンポジット / ナノ構造制御 / ガス浄化触媒 / 熱的安定性 / 羽毛状組織 / 結晶成長 / 超高速合成
研究概要

レーザー化学気相析出(LCVD)法により、ロジウム(Rh)ナノ粒子を羽毛状組織を有するジルコニア(ZrO_2)から構成されるナノコンポジットを合成した。
羽毛状ジルコニアは、原料ガス濃度が高く、成膜速度が毎時120ミクロンを超える高速成膜条件下で生成することがわかった。羽毛状組織の熱的安定性は高く、1200〜1400℃、空気中での熱処理によっても変化が見られなかった。EB-PVDなどによる羽毛状組織は、短時間の高温熱処理で容易に消失するが、レーザーCVDで合成した羽毛状ジルコニアは結晶性が高く、このような優れた高温安定性が得られたものと考えられる。
また、ロジウムを含む有機金属原料ガスを、ジルコニウム原料ガスと同時に供給することによって、ジルコニア-ロジウムナノコンポジットが生成し、羽毛状ジルコニアが生成する成膜条件では、コンポジット膜も羽毛状組織になった。しかし、ロジウム原料の濃度が、ジルコニウム原料の10mol%程度になると、羽毛状組織は明瞭でなくなり、高密度のロジウム粒子の析出によって、羽毛状組織の生成が妨げられることがわかった。
コンポジット膜中のロジウム粒子の大きさは、ロジウムの原料ガス濃度によって変化し、原料ガス濃度が高いほど、大きなロジウム粒子が生成した。さらに、ジルコニア-ロジウムナノコンポジット膜の高温安定性を調べ、500℃以下の温度では、ロジウム粒子の粒成長はほとんど見られなかった。このような優れた熱的安定性は、他のナノ粒子触媒と比較してすぐれており、触媒、特にガス浄化触媒としての応用が期待される。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2006

すべて 雑誌論文 (6件)

  • [雑誌論文] High-speed deposition of yttria-stabilized zirconia and titania films by laser chemical vapor deposition2006

    • 著者名/発表者名
      Teiichi Kimura
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Jpn. 114

      ページ: 161-166

  • [雑誌論文] High Speed Deposition of YSZ Films by Laser Chemical Vapor Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      Teiichi Kimura, Takashi Goto
    • 雑誌名

      Ceramic Transactions 195

      ページ: 3-12

  • [雑誌論文] レーザーCVDによる構造傾斜イットリア膜のナノ構造2006

    • 著者名/発表者名
      木村禎一, 後藤 孝
    • 雑誌名

      2005年度傾斜機能材料論文集 <FGM2005>

      ページ: 72-77

  • [雑誌論文] Laser chemical vapor deposition of thick oxide coatings2006

    • 著者名/発表者名
      T.Goto, T.Kimura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 317-318

      ページ: 495-500

  • [雑誌論文] レーザーCVDによるRhナノ粒子分散ZrO_2膜の合成2006

    • 著者名/発表者名
      木村禎一, 本田暁拡, 後藤 孝
    • 雑誌名

      2006年度傾斜機能材料論文集<FGM2006>

      ページ: 53-58

  • [雑誌論文] High-speed oxide coating by laser chemical vapor deposition and their nano-structure2006

    • 著者名/発表者名
      Takashi Goto, Teiichi Kimura
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 515

      ページ: 46-52

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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