研究課題
２０２０年度では，①新規結像光学系アライメント法の高度化，②グレイディッド多層膜成膜技術の高度化，③性能評価実験，④形状可変ミラーの検討，⑤新規光学系の検討 を実施した．①では，複数のミラーを必要精度でアライメントできる，X線波面計測ベースの手法を確立しこれを高度化した．格子干渉計やタイコグラフィ，位相回復法を導入・検討し，正確な2次元波面収差の計測を可能であることを実験で確かめた．これに基づいたミラーアライメントが可能であることを実験で示した．②では，昨年度に引き続き，多層膜成膜装置の精度検証を進めると共に，その精度向上を図った．また，様々な材料の多層膜を作製し，界面粗さ特性の評価を行った．最適な材料の探索によって，高入射角条件下でも高い反射率を持つ多層膜を得た．③では，①②の完成度を評価するために，SPring-8にてX線結像実験を行った．テストチャート像を拡大結像することでその分解能や視野特性を評価した．最終的に，約20nmの線幅の解像に成功した．また，焦点方向に試料位置を変化させたデータ（フォーカススタック）から試料の位相を再構成することを試みた．試料厚みから推測される位相差の検出に成功した．④では，形状可変ミラーを用いた能動性を有するX線結像光学系をテストした．ピエゾバイモルフミラーを作製し，変形性能やドリフトを評価した．印加電圧に対する応答関数を得ることができ，これは有限要素法で予想される値をほとんど一致した．⑤では，アライメント問題を解決できる新しい結像光学系の設計・シミュレーションを実施した．必要精度や像特性の評価を行い，高い実用性を有していることを確認した．
2: おおむね順調に進展している
ミラー作製，ミラーアライメント，多層膜成膜，顕微鏡構築を進めることができ，計画は順調に進んでいる．
今後は，SPring-8における性能評価実験と形状可変ミラーの導入などを進め，顕微鏡の更なる高精度化を進める．また，新型結像光学系の実用化についても検討を進める．
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巻: 20 ページ: 7356～7356
10.3390/s20247356
https://x-ray.mp.pse.nagoya-u.ac.jp/
