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2020 年度 実績報告書

低温大気圧ハイブリッド接合によるセンサ内包軽量構造材料の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17H01275
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

重藤 暁津  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 構造材料研究拠点, 主幹研究員 (70469758)

研究分担者 水野 潤  早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 上級研究員(研究院教授) (60386737)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2021-03-31
キーワードハイブリッド接合 / 電子実装 / 構造材料 / 移動体 / IoT
研究実績の概要

本研究は,有機・無機高信頼性ハイブリッド接合を工業的に簡易な低温大気圧で実行可能にすることで,薄型電子基板の積層と,軽量ハイブリッド構造材料の接続を一つのプロセスで実現し,次世代移動体IoTに資する軽量ハイブリッドかつスマートな構造材料を実現することを目的とした.そのために,純水やアンモニアなどの低毒性かつ安価な溶剤蒸気を微量含有した大気圧窒素雰囲気で真空紫外光を照射することでラジカル種を発生させ,各種試料表面の汚染除去・無機材酸化物の一部還元・還元サイトへの極薄架橋層(厚さnmレベル)形成を一度に行える接合手法を開発した.X線光電子分光法や透過電子顕微鏡観察などにより,水蒸気含有雰囲気の場合は水酸化水和物薄膜末端の水素結合とその脱水縮合が,アンモニアの場合はアミン基のそれが結合達成に寄与することが明らかになった.また,架橋層厚は一定の値までは溶剤蒸気密度と紫外光照射時間の積に比例し,特に片方もしくは両方の材料が金属の場合は,実働環境での金属イオンの拡散距離以下に層厚を制御することで十分な導電性を確保できるなど,接合と同時に界面の機能性を獲得できる特長を示した.さらに,常温でも母材イオンの極薄架橋層内への拡散が発生することで,経時的に粒界的な明確な界面は消失し,母材と同等の破断強度を呈することを実証した.本手法により,多様な金属構造材料・半導体基板材料・配線金属材料・有機基板材料・炭素繊維強化ポリマーのマトリックス材の強固なハイブリッド接合が達成されただけではなく,実際の圧延チタン箔とマトリックスポリマーの間に可撓性歪センサを含む構造を試作し,実働を確認した.また,高感度センサ構築など,分野横断的な実用例も得た.加えて,当初計画には無かったが,低級アルコールの利用により界面に耐水信頼性を発現できる可能性も見出した.

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2021 2020 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (6件) (うち国際共著 5件、 査読あり 6件、 オープンアクセス 5件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 3件、 招待講演 3件)

  • [国際共同研究] 国立台湾大学(その他の国・地域 台湾)

    • 国名
      その他の国・地域 台湾
    • 外国機関名
      国立台湾大学
  • [雑誌論文] Patchwork metasurface quantum well photodetectors with broadened photoresponse2020

    • 著者名/発表者名
      Hainey Mel F.、Mano Takaaki、Kasaya Takeshi、Jimba Yoji、Miyazaki Hiroshi、Ochiai Tetsuyuki、Osato Hirotaka、Watanabe Kazuhiro、Sugimoto Yoshimasa、Kawazu Takuya、Arai Yukinaga、Shigetou Akitsu、Miyazaki Hideki T.
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 29 ページ: 59~59

    • DOI

      10.1364/oe.408515

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Near-field resonant photon sorting applied: dual-band metasurface quantum well infrared photodetectors for gas sensing2020

    • 著者名/発表者名
      Hainey Mel F.、Mano Takaaki、Kasaya Takeshi、Ochiai Tetsuyuki、Osato Hirotaka、Watanabe Kazuhiro、Sugimoto Yoshimasa、Kawazu Takuya、Arai Yukinaga、Shigetou Akitsu、Miyazaki Hideki T.
    • 雑誌名

      Nanophotonics

      巻: 9 ページ: 4775~4784

    • DOI

      10.1515/nanoph-2020-0456

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Systematic studies for improving device performance of quantum well infrared stripe photodetectors2020

    • 著者名/発表者名
      Hainey Mel F.、Mano Takaaki、Kasaya Takeshi、Ochiai Tetsuyuki、Osato Hirotaka、Watanabe Kazuhiro、Sugimoto Yoshimasa、Kawazu Takuya、Arai Yukinaga、Shigetou Akitsu、Miyazaki Hideki T.
    • 雑誌名

      Nanophotonics

      巻: 9 ページ: 3373~3384

    • DOI

      10.1515/nanoph-2020-0095

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Hybrid Bonding in Ambient Atmosphere for Automotive IoT2020

    • 著者名/発表者名
      SHIGETOU Akitsu
    • 雑誌名

      JOURNAL OF THE JAPAN WELDING SOCIETY

      巻: 89 ページ: 438~446

    • DOI

      10.2207/jjws.89.438

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synchronously wired infrared antennas for resonant single-quantum-well photodetection up to room temperature2020

    • 著者名/発表者名
      Miyazaki Hideki T.、Mano Takaaki、Kasaya Takeshi、Osato Hirotaka、Watanabe Kazuhiro、Sugimoto Yoshimasa、Kawazu Takuya、Arai Yukinaga、Shigetou Akitsu、Ochiai Tetsuyuki、Jimba Yoji、Miyazaki Hiroshi
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 11 ページ: 1~10

    • DOI

      10.1038/s41467-020-14426-6

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Different interfacial structures of Cu/In obtained by surface activated bonding (SAB) in vacuum and vapor-assisted vacuum ultraviolet (V-VUV) at atmospheric pressure2020

    • 著者名/発表者名
      Chiu Yu-Shan、Kao C.Robert、Shigetou Akitsu.
    • 雑誌名

      Materials & Design

      巻: 195 ページ: 109065~109065

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2020.109065

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] Hybrid Bonding Without Vacuum and High Temperature for Cross-Cutting Applications2021

    • 著者名/発表者名
      SHIGETOU Akitsu
    • 学会等名
      IEEE EPS/JIEP International Conference on Electronics Packaging
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 機能複合化手法としての低温大気圧異種材料接合2020

    • 著者名/発表者名
      重藤暁津
    • 学会等名
      スマートプロセス学会
    • 招待講演
  • [学会発表] Metasurface Quantum Well Photodetectors with Broadened Photoresponse Using Patchwork of Cavities within a Subwavelength Period2020

    • 著者名/発表者名
      HAINEY JR., Mel Forrest, MANO, Takaaki, KASAYA, Takeshi, 神馬 洋司, 宮嵜 博司, OCHIAI, Tetsuyuki, OOSATO, Hirotaka, 渡邉 一弘, SUGIMOTO, Yoshimasa, KAWAZU, Takuya, ARAI, Yukinaga, SHIGETOU, Akitsu, MIYAZAKI, Hideki
    • 学会等名
      Metamaterials'2020 - The 14th International Congress on Artificial Materials for Novel Wave Phenomena
    • 国際学会
  • [学会発表] Dual-band Metasurface Quantum Well Infrared Photodetectors for NO2 Sensing2020

    • 著者名/発表者名
      HAINEY JR., Mel Forrest, MANO, Takaaki, KASAYA, Takeshi, OCHIAI, Tetsuyuki, OOSATO, Hirotaka, 渡邉 一弘, SUGIMOTO, Yoshimasa, KAWAZU, Takuya, ARAI, Yukinaga, SHIGETOU, Akitsu, MIYAZAKI, Hideki
    • 学会等名
      2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Hybrid Bonding in Ambient Atmosphere for Cross-Cutting Applications2020

    • 著者名/発表者名
      SHIGETOU Akitsu
    • 学会等名
      2020 21st International Conference on Electronic Packaging Technology
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Morphology considerations for optimizing metasurface quantum well photodetector performance2020

    • 著者名/発表者名
      HAINEY JR., Mel Forrest, MANO, Takaaki, KASAYA, Takeshi, OOSATO, Hirotaka, 渡邉 一弘, SUGIMOTO, Yoshimasa, KAWAZU, Takuya, ARAI, Yukinaga, SHIGETOU, Akitsu, OCHIAI, Tetsuyuki, 神馬 洋司, 宮嵜 博司, MIYAZAKI, Hideki
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 位相同調アンテナを用いたメタ表面量子井戸赤外検出器2020

    • 著者名/発表者名
      宮崎 英樹, 間野 高明, 笠谷 岳士, 大里 啓孝, 渡邉 一弘, 杉本 喜正, 川津 琢也, 新井 志大, 重藤 暁津, 落合 哲行, 神馬 洋司, 宮嵜 博司, ヘネ ジュニア メル フォレスト
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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公開日: 2021-12-27  

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