• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2019 年度 実績報告書

酸化物半導体の新展開;ナローギャップウルツ鉱型酸化物の物質科学とデバイス化技術

研究課題

研究課題/領域番号 17H01315
研究機関東北大学

研究代表者

小俣 孝久  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (80267640)

研究分担者 鈴木 一誓  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (60821717)
佃 諭志  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (00451633)
喜多 正雄  富山高等専門学校, その他部局等, 准教授 (00413758)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2021-03-31
キーワード結晶成長 / セラミックス / 先端機能デバイス / 光物性
研究実績の概要

高品質β-CuGaO2薄膜の作製プロセス開発を継続した。これまで行ってきたミストCVD法による薄膜の作製方法では、β-CuGaO2の前駆体となるβ-NaGaO2を繰り返し再現性良く堆積することが難しいことが明らかとなった。これに対処するため、(i)ミストCVD装置の大規模改良、および、(ii)β-NaGaO2をターゲットとしたパルスレーザー堆積法(PLD)によるβ-NaGaO2薄膜の作製を行った。装置の改良については、マイクロヒーターを使用し基板の直接加熱による基板温度の安定化と均一化、基板の下面に薄膜を堆積するdepo-upの導入、ミストの予備加熱により再現性の良い薄膜の堆積が可能になりつつある。(ii)PLD法による薄膜の堆積では、相対密度95%以上のターゲットに使用、基板の高温酸化雰囲気でのクリーニングなどにより再現性の良い薄膜の堆積が可能になりつつある。
βNaGaO2薄膜のイオン交換によるβ-CuGaO2の作製においては、従来のCuCl蒸気に曝す方法に加え、CuCl粉末を分散した高沸点有機溶媒中に薄膜を浸漬する方法を見出し、質の良い前駆体β-NaGaO2が得られれば直ちにイオン交換によりβ-CuGaO2とする技術が確立できた。
前年度から行ってきたXPS法によるβ-CuGaO2とn型ZnO、およびp型のα-CuGaO2とのバンドアラインメントの研究を完了した。β-CuGaO2の価電子帯頂上はAlドープしたZnOの価電子帯の2.6eV高い位置に、伝導帯底部は0.7eV高い位置にあり、これらはtype-IIの接合を作ることが明らかとなった。一方、同じCu3d軌道が価電子帯の上部を構成するα-CuGaO2とは価電子帯頂上のエネルギーはほぼ同じ(α-CuGaO2が0.15eVエネルギーが高い)であることが明らかとなった。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

質の高い前駆体薄膜の作製においては少し遅れがみられるが、前駆体を目的物質に変換する、新たな、かつ、安定したイオン交換技術を見出すなど、前駆体が得られた後のプロセスにおいて想定外の進捗があった。電子構造の視点からの目的物質の太陽電池材料としてのポテンシャルの解明は順調に進んでおり、全体としては順調に進展していると言える。

今後の研究の推進方策

p-n接合の形成に必要な伝導性制御のための検討をミストCVDとPLDの2つの手法で実施する。これにより研究を加速し、本研究の目的を達成する。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2019 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [国際共同研究] Technical University of Darmstadt(ドイツ)

    • 国名
      ドイツ
    • 外国機関名
      Technical University of Darmstadt
  • [雑誌論文] Comprehensive first-principles study of AgGaO2 and CuGaO2 polymorphs2019

    • 著者名/発表者名
      I. Suzuki, Y. Iguchi, C. Sato, H. Yanagi, N. Ohashi, T. Omata
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Jpn.

      巻: 127 ページ: 339-347

    • DOI

      10.2109/jcersj2.19025

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Tunable direct band gap of β-CuGaO2 and β-LiGaO2 solid solutions in the full visible range2019

    • 著者名/発表者名
      I. Suzuki, Y. Mizuno, T. Omata
    • 雑誌名

      Inorg. Chem.

      巻: 58 ページ: 4262-4267

    • DOI

      10.1021/acs.inorgchem.8b03370

    • 査読あり
  • [学会発表] Electronic structure and band alignment of ternary wurtzite-type oxide semiconductor, β-CuGaO22019

    • 著者名/発表者名
      I. Suzuki, N. Ohashi, A. Klein, T. Omata
    • 学会等名
      The 11th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-11), (July 9-11, 2019,Tsukuba, Japan)
    • 国際学会
  • [学会発表] Band alignment and Fermi level shift of β-CuGaO22019

    • 著者名/発表者名
      I. Suzuki, A. Klein, T. Omata
    • 学会等名
      11th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO 11)(October7-9, 2019 Todaiji Temple Culture Center, Nara, Japan)
    • 国際学会
  • [学会発表] 新機能光学材料の創製2019

    • 著者名/発表者名
      小俣孝久
    • 学会等名
      第9回電子光技術シンポジウム(機能性マテリアルの設計と実証-電子・光デバイスのイノベーション開拓に向けて-)(2019年12月20日,秋葉原UDXカンファレンス,東京)
    • 招待講演
  • [学会発表] Development of Mist-CVD Equipment for β-NaGaO2 Thin-Film Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      T. Watanabe, S. Suzuki, I. Suzuki, T. Omata
    • 学会等名
      An-Pang Tsai Memorial Joint Symposium of Taipei Tech and Tohoku University (November 24-26, 2019 Sendai, Japan)
    • 国際学会

URL: 

公開日: 2021-01-27  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi