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オープンループ電位顕微鏡（OL-EPM）は、電極表面の構造と電位分布を液中かつナノスケールで同時に観察できる原子間力顕微鏡技術である。本研究では、OL-EPMによる電位の定量測定の精度向上を目指して、探針先端部にはたらく静電的相互作用力のみを検出できる方法について検討した。まず、探針先端部以外を絶縁膜で覆った導電性カンチレバーの作製方法を考案し、交流バイアス電圧の周波数特性や探針－試料間距離依存性から、このカンチレバーの有効性を示せた。また、ヘテロダイン法による静電力検出についても検討し、探針先端部の静電的相互作用力を支配的に検出できる可能性を示した。
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