| 研究課題/領域番号 |
17H02754
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
岩見 健太郎 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80514710)
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| 研究分担者 |
高木 康博 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50236189)
梅田 倫弘 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 理事 (60111803)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| キーワード | MEMS / メタサーフェス / 光変調器 / 位相差 |
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| 研究実績の概要 |
本研究は、将来の立体動画ディスプレイの実現を目指し、可変メタマテリアルによる光変調器の実現を目的としている。
平成30年度には、（１）面内駆動型素子の製作と評価、（２）熱アクチュエータを用いた面外駆動型素子の開発と評価（３）位相変調素子の形状・光学特性同時評価のための計測システムの高速化、の３つを行った。
（１）に関しては、前年度に設計を行ったデバイスの製作工程を見直し、歩留まり向上および製作プロセスの改善を図った。その結果、機械的に変形する素子の製作に成功し、同時に光位相変調も実験的に実証することができた。この成果をもとに、次年度に特許を出願する予定である。（２）に関しては、簡易な製作プロセスを立案でき、位相変調を実証することができた。特に、犠牲層エッチングのための犠牲層パターニングプロセスを大胆に省略したことが成功につながった。構造が比較的簡易であるため、1次元的な並列制御を行いやすい構造であるため、画素化・並列化につながる重要な知見を得ることができた。この結果は英文学術論文として公表することができた。（３）に関しては、位相変調器を機械式(光学結晶)から液晶に変更することでシステムの高速化を図った。当初意図していたほどの高速化が達成できていないが、これは制御プログラムの見直しによりさらに向上できると考えている。また、結果として位相ノイズが安定化する可能性が示され、計測精度の向上につながった。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
面内変形機構による位相変調の実証に成功したため。
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| 今後の研究の推進方策 |
今後は単一素子の性能向上及び並列化、ホログラムへの展開を進める。
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