研究課題
昨年度の成果は、(1)トナー型プリント可能な材料種の拡大と(2)描画解像度の向上と(3)厚膜印刷/グラデーション印刷の達成、(4)新しい超高精細描画方式の開発であった。一昨年度中には静電パターニングできなかった材料について、試料の調製条件を詳細に再検討することによって静電パターニングに成功した。その結果、絶縁体、半導体、導体の区別なく、かつ、有機材料、無機材料の隔てなく、細粒化が可能なほとんどの材料は静電パターニングが可能となる見通しを得た。また、その結果を従来から静電パターニングが可能であった材料のパターニング条件にフィードバックすることによって、プリント条件を一段と絞り込むこともでき、それが描画解像度の向上につながった。高精細パターンの形成では、線幅30マイクロメートルの櫛形電極パターンを明瞭かつ稠密に描画することに成功した。一昨年に同じ線幅のパターニングを試みた時と比較して、格段に描画品質が向上した。細い線を細粒で十分に稠密に埋めて描画することができる印刷手法はかなり限られる。また、プリンテッドエレクトロニクスの実用化の課題の一つとして、描画膜厚の厚膜化と高精細を両立することは従来困難とされてきたが、帯電量をコントロールすることによってそれを可能とした。トナー粒子の粒径分布およびキャリア粒子とトナー粒子の混合比、現像材の逐次供給機構を改善することによって、実用レベルの厚膜印刷/グラデーション印刷能力を実装できると考えられる。また、新しい超高精細プリント機構については、新原理の検証が成功した段階であり、従来よりも近接条件の下で稠密なプリントが可能であることが示された。原理上はキャリア粒子を用いることなくプリントができるようになると見込まれる。
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
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Journal of Applied Physics
巻: 128 ページ: 085502～085502
10.1063/5.0011150
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