2019 年度研究成果報告書

蛍光Ｘ線顕微分光３次元イメージング法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号	17H03080
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	分析化学
研究機関	大阪市立大学
研究代表者	辻幸一大阪市立大学, 大学院工学研究科, 教授 (30241566)
研究期間 (年度)	2017-04-01 – 2020-03-31
キーワード	蛍光X線 / 元素イメージング / 全視野型
研究成果の概要	試料微小部での元素の種類とその濃度を把握することは、各種材料の開発、異物解析に必要であり、蛍光X線分析法(XRF)は試料に対して非破壊的に大気中で適用できる有力な方法である。本研究では全視野型のXRFイメージングを開発し、新規のポリキャピラリーレンズを導入することで視野可変型のXRF像を取得することを目指した。波長分散型での全視野XRFイメージングに加えて、フォトンカウンティング解析を用いたエネルギー分散型の全視野XRFイメージングに新光学素子を導入し、試料とＸ線カメラの間隔を調整することで多元素同時XRF拡大像が得られることをいくつかの工業試料に適用し実証した。
自由記述の分野	分析化学
研究成果の学術的意義や社会的意義	蛍光X線分析法(XRF)は様々な試料に対して非破壊的に大気中で元素分析できる有力な方法である。本研究を通じて、全視野型のXRFイメージングを開発し、新規のポリキャピラリーレンズを導入することで視野可変型のXRFによる元素分布像を取得することができた。可視域の光学顕微鏡で得られる試料の形状観察に本手法で得られる元素分布情報を付加することで情報量が増え、材料解析の分野で大きく貢献できる成果であると期待する。