| 研究課題/領域番号 |
17H03198
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
米谷 玲皇 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 (90466780)
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| 研究分担者 |
前田 悦男 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60644599)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2021-03-31
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| キーワード | マイクロ・ナノデバイス / 光物性 / プラズモニクス / ナノメカニカル振動子 / NEMS / ナノメカニクス / センシング |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、微小量のガスのセンシングに資する分子識別ナノメカニカル素子の創出を目的として推進した。具体的には、分子識別ナノメカニカル素子として、プラズモニック構造の光吸収波長の制御性とナノメカニカル振動子の高感度性を活用した光スペクトルを計測可能なNEMS（Nanoelectromechanical systems）スペクトロメーターの研究を行った。結果として、スパイラルブルズアイ構造と円形膜型振動子からなるNEMSスペクトロメーターを提案し、光スペクトル計測を実証するとともに、光検出特性や吸光特性制御に関する基礎的知見を獲得した。
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| 自由記述の分野 |
荷電粒子ビーム工学，ナノメカニクス，センシング
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では、NEMSスペクトロメーターの基礎的原理を実証するとともに、その過程において、プラズモニック構造を利用した光吸収制御やナノメカニカル振動子を利用した光検出に関する知見を獲得した。これら獲得した知見は、プラズモニクスやナノメカニクスを深化させるものであり、その体系化において学術的意義は高い。また、創出したNEMSスペクトロメーターは、光学系不要で光スペクトル計測を実現するデバイスであり、材料科学等の研究分野を加速するとともに、生体物質をバイオマーカーとして利用するヘルスケア技術，デバイスの高度化も推し進めるデバイス技術であり、人の健康や活動の増進に貢献すると期待される。
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