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2020 年度 実績報告書

薄膜構造制御による新規圧電マイクロデバイス創成に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 17H03207
研究機関神戸大学

研究代表者

神野 伊策  神戸大学, 工学研究科, 教授 (70346039)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2021-03-31
キーワード圧電 / 薄膜 / PZT / KNN / エピタキシャル
研究実績の概要

本研究では、圧電薄膜の圧電性の特徴およびその起源を明らかにすることで、圧電薄膜の圧電定数の向上に向けた指針を明らかにすると共に、その特徴を利用した新しい圧電マイクロデバイスの創出を目的としている。2020年度はスパッタ法でPZT薄膜およびKNN薄膜を作製すると共に、特にSi基板上へのエピタキシャル成長技術および放射光XRDを用いた圧電効果の観察を行った。
RFスパッタ法を用いて(001)SRO/Pt/ZrO2/Si基板上にPZT圧電薄膜およびK/Naが約50/50のKNN圧電薄膜を成膜し、その巨視的圧電性とともにSPring-8による電界印加時の結晶構造のひずみの関係を調べた。エピタキシャルPZT薄膜の逆格子像を観察した結果、明瞭なスポット構造が確認でき、良好なエピタキシャル成長が確認できた。電界印加時の(004)回折パターンは単純なピークシフト共に明瞭なピーク形状の変化も見られ、電界印加による結晶相もしくはドメイン構造の変化が起こっていることが確かめられた。一方、非鉛KNN圧電エピタキシャル薄膜の電界印加による結晶構造変化は主にピークシフトのみである一方、低角側のテール部の強度が変化がみられた。このことはKNN薄膜はPZT薄膜と異なる圧電効果を有していることを示している。今回放射光XRD測定で特に2次元検出器で得られたデータを逆格子変換する手法を開発し、より詳細な圧電効果の結晶構造観察技術の確立に成功した。今後組成構造の異なるPZTおよびKNNエピタキシャル薄膜の微視的圧電効果を観察し、圧電特性の向上につなげていく予定である。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2021

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件)

  • [雑誌論文] Finger flexion power generators made of piezoelectric lead zirconate titanate thin films on stainless steel foils2021

    • 著者名/発表者名
      Harada Ryo、Iwamoto Naoya、Kweon Sang-Hyo、Umegaki Toshihito、Kanno Isaku
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: 322 ページ: 112617~112617

    • DOI

      10.1016/j.sna.2021.112617

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transparent piezoelectric thin-film devices: Pb(Zr, Ti)O3 thin films on glass substrates2021

    • 著者名/発表者名
      Ueda Kazuki、Kweon Sang-Hyo、Hida Hirotaka、Mukouyama Yoshiharu、Kanno Isaku
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: 327 ページ: 112786~112786

    • DOI

      10.1016/j.sna.2021.112786

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Piezoelectric unimorph microcantilevers for measuring direct and converse piezoelectric coefficients2021

    • 著者名/発表者名
      Jikyo Genki、Onishi Kouta、Nishikado Takumi、Kanno Isaku、Kanda Kensuke
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 130 ページ: 074101~074101

    • DOI

      10.1063/5.0056802

    • 査読あり

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公開日: 2022-12-28  

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