| 研究課題/領域番号 |
17H03395
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
無機材料・物性
|
|---|
| 研究機関 | 名古屋大学 |
|---|
研究代表者 |
長田 実 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授 (10312258)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
|
| キーワード | ２次元材料 / 酸化物ナノシート / 高誘電体 / 強誘電体 |
|---|
| 研究成果の概要 |
次世代誘電体デバイスの開発を目指した新たな試みとして、層状金属酸化物の単層剥離により得られる酸化物ナノシートに注目し、高機能の誘電材料、デバイスの開発を行った。巨大誘電特性、サイズ効果フリー機能など特異的誘電特性を有するペロブスカイトナノシートをモデルケースに、0.5~3 nmの臨界薄膜で実現する特異物性の機構解明とともに誘電物性の制御技術を確立し、新規高誘電・強誘電性ナノシートを開発した。さらに、ナノシートを１層ずつ精密集積する原子層エンジアリングにより、他の誘電材料で実現しえない高容量ナノキャパシタ、原子膜デバイスを開発した。
|
| 自由記述の分野 |
無機材料、ナノ材料化学
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究は、エレクトロニクスの基盤技術である誘電材料・デバイスが直面している課題に対して、材料・プロセスの基礎に戻って新たなコンセプトを創出しようとする提案、画期的な素材・プロセスの採用で従来技術の置き換えや現行デバイス性能の限界を突破する先端エレクトロニクスを追求する提案を含んだ極めてチャレンジ性の高いテーマである。特に本研究で開発した原子膜high-k技術をベースとした高性能コンデンサ、蓄電キャパシタは、従来の材料、技術では到達できない超高容量、高エネルギー密度を実現するものであり、革新的デバイスの創出・発展への貢献が期待される。
|
