タングステンに代表される高融点金属は、優れた高温耐性・化学的安定性をもつため、様々な工業製品に利用されているが、一方で、加工が困難な材料として知られている。近年、微細形状化のニーズが高まっており、これに対応する加工法として、電析法の開発が求められている。しかし、従来の水溶液を用いた電析では、クラック(割れ)のない緻密な超高融点金属膜を得ることはできない。溶融塩を用いた高温電析では、緻密な膜を形成できるものの、高温による様々な悪影響が避けられない。そこで本研究では、イオン液体を新しい浴として用い、100℃程度の温度域で電析を行なうことで、超高融点金属のクラックフリー膜を電析する技術の確立を目指した。 1-エチル-3-メチルイミダゾリウムクロリドと塩化アルミニウムを混合して得られるイオン液体を溶媒とし、独自に合成した W6Cl12 をタングステンイオン源とした浴を用いることで、高 W 含有率の Al-W 合金の電析が可能であることを見出した。 さらに、不均化反応を利用する新しい方法でタングステン塩を合成し、これと様々な溶媒を組み合わせた電析浴を用い、金属タングステンの電析を目指した。この過程において、タングステン塩に残留する水分量によって、イオン液体への溶解度が異なり、水分を全く含まない塩よりも、水和塩のほうが溶解度が高いことを見出した。水和タングステン塩の電気化学的挙動を明らかにするとともに、得られる電析物の分析を行った。
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