化学やバイオ、医療分野における研究ツールとしてマイクロ流体デバイスが普及してきたが、微小空間では吸光光度法を用いて光吸収を直接測定するのが難しい。そこで試料が光を吸収した際に発生する熱を検出する光熱変換分光法が研究されてきたが、吸収スペクトルの測定ができなかった。そこで、研究代表者らが開発してきた光熱変換光位相差(POPS)検出をもとに、光ファイバを用いた干渉計をマイクロ流体デバイス内に構築した。ガラス基板上に、フッ酸およびプラズマエッチングを用いて測定用流路と光ファイバを挿入するガイドを作製し、干渉計として動作することを確認した。さらに、原理検証としてレーザー光源を用いた信号検出に成功した。
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