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2018 年度 実績報告書

絶縁基板上におけるボトムアップ型Siナノワイヤ成長技術の創製

研究課題

研究課題/領域番号 17H07351
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

松村 亮  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 研究員 (90806358)

研究期間 (年度) 2017-08-25 – 2019-03-31
キーワードナノワイヤ / 太陽電池
研究実績の概要

ナノワイヤ太陽電池技術をSi基板から脱却させ、ガラス基板やプラスチック基板など「基板を選ばない」技術へと昇華することを目的に、絶縁基板上における高品質なテンプレート層の実現と、プラスチック基板対応の低温ナノワイヤ成長法の確立という二つのフェーズで研究を推進した。
2年目となる今年度は、主に2フェーズ目であるナノワイヤの低温成長法の研究を行った。元来ナノワイヤの成長には、触媒として金が用いられてきた。我々はこの金に、低融点材料であるスズを添加することで、ナノワイヤ成長温度の低温化に成功した。1年目に実現したテンプレート層と重畳することで、フレキシブル基板上でのナノワイヤ成長が可能な基盤技術が確立したといえる。
また、この研究の副産物として、ナノワイヤ成長中にナノワイヤ中へのスズの取り込み現象が発生することを発見した。この発見を元に成長条件を変更することで、次世代半導体材料であるゲルマニウム・スズのナノワイヤをSi基板上に成長することに成功した。
様々な成長条件(成長温度・材料ガスの圧力等)で実験を行うことで、ナノワイヤ中へのスズの取り込み現象が系統的に理解され、元来難しいとされていた高スズ濃度を有するゲルマニウム・スズ・ナノワイヤを実現するに至っている。
このように、本来の目的であったフレキシブル基板対応のナノワイヤ成長技術に加え、新材料ナノワイヤの成長法へと研究が派生した意義は大きい。これらの成果はヨーロッパ材料化学会で発表したとともに、現在アメリカ化学会の論文誌への投稿へ向け、論文執筆中である。

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2018

すべて 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件)

  • [学会発表] Single domain poly-Si film on insulating substrate by limited region aluminum induced layer exchange growth2018

    • 著者名/発表者名
      松村亮 王云帆 JEVASUWANWipakorn 深田直樹
    • 学会等名
      EMRS2018Fall Meeting
    • 国際学会
  • [学会発表] The Structural Controlled SiNWs by Wet and Dry Etching Processes for Photovoltaic Applications2018

    • 著者名/発表者名
      JEVASUWANWipakorn CHENJunyi SUBRAMANIThiyagu PRADELKen Kei Shinotsuka Yoshihisa Hatta 武井俊朗 松村亮 深田直樹
    • 学会等名
      EMRS2018Fall Meeting
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth of Au/Sn-catalyzed Ge 1-x Sn x nanowires with high Sn content (~5 at.%)2018

    • 著者名/発表者名
      孫永烈 松村亮 JEVASUWANWipakorn 深田直樹
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会

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公開日: 2019-12-27  

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