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2019 年度 実績報告書

量子力学・電磁気学・古典力学を融合したレーザー加工シミュレーション手法開発

研究課題

研究課題/領域番号 17K05089
研究機関国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構

研究代表者

乙部 智仁  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 上席研究員(定常) (60421442)

研究分担者 小林 亮  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70560126)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
キーワードレーザー加工 / 第一原理計算
研究実績の概要

電子ダイナミクスを実時間で記述する時間依存密度汎関数法(TDDFT)と電磁場ダイナミクスを記述するマックスウェル方程式を同時に解く事ができるプラグラムSLMONを利用してSiのレーザー加工におけるレーザー波長依存性を調べた。まずレーザーによる励起した電子と空孔の温度をフィッティングから最表面では非常に高い電子温度となるが深い場所では一定の温度となる事が分かった。また、励起電子密度はレーザー波長が長くなるに従い、深い領域まで分布する事が分かった。励起電子密度によるプラズマ振動数がレーザー振動数と一致する深さを調べてみると、系統的に物質中でのレーザー波長の半分になる事が分かった。
レーザー電場による過渡的な物性変化を理解するために、TDDFTを用いて超高速なポッケルス様効果をZnSについて調べた。バンドギャップより低いエネルギー領域ではこれまでのポッケルス効果同様に励起光の電場方向に追随した時間変化が見られるがそれより高いエネルギー領域では変化に位相のずれが見られる事が分かった。このずれは動的FranzーKeldysh効果で見られる位相のずれと一致しておりフロケ状態に分裂した状態間の応答がポッケルス様効果に於いても重要な役割を果たしている事が分かった。
材料がレーザー照射を受け,電子が励起されたことによる電子エントロピーの効果がレーザーアブレーションにおいて材料表面にいかなる影響を及ぼすか調べるため以下を行った.本課題で開発したレーザーアブーれション分子動力学シミュレーションコードに,電子エントロピー効果を取り入れたシリコン系力場を実装した.電子エントロピー効果を取り込んだシミュレーションの解析を行い,エントロピーの寄与はレーザー照射初期の表面近傍の圧縮応力の大幅な増大と原子状のアブレーションを引き起こすことが分かった.

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2020 2019

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Wavelength Dependence of the Laser-Excitation Process on a Silicon Surface2020

    • 著者名/発表者名
      Otobe T.
    • 雑誌名

      Physical Review Applied

      巻: 13 ページ: 024062-1~6

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.13.024062

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Macroscopic electron-hole distribution in silicon and cubic silicon carbide by the intense femtosecond laser pulse2019

    • 著者名/発表者名
      Otobe T.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 126 ページ: 203101~203101

    • DOI

      10.1063/1.5124424

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Attosecond electro-optic effect in zinc sulfide induced by a laser field2019

    • 著者名/発表者名
      Otobe T.
    • 雑誌名

      Physical Review A

      巻: 100 ページ: 033401-1~5

    • DOI

      10.1103/PhysRevA.100.033401

    • 査読あり
  • [学会発表] First-principles calculation for the attosecond electro-optic effect in zinc sulfide induced by a laser field2019

    • 著者名/発表者名
      Tomohito Otobe
    • 学会等名
      ICPEAC 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Macroscopic electron-hole distribution calculated by the time-dependent density functional theory and Maxwell equation2019

    • 著者名/発表者名
      Tomohito Otobe
    • 学会等名
      CLEO EURO
    • 国際学会
  • [学会発表] Construction of efficient machine-learning potential for W-H system2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo KOBAYASHI
    • 学会等名
      4th International Workshop on Models and Data for Plasma-Materials Interaction in Fusion Devices
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of laser ablation using electronic-temperature dependent force-field2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo KOBAYASHI
    • 学会等名
      Materials Research Society Japan (MRSJ)
  • [学会発表] 電子温度依存型力場を用いたレーザーアブレーション分子動力学シミュレーション”2019

    • 著者名/発表者名
      小林亮
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
  • [学会発表] 電子温度依存型力場を用いたレーザーアブレーション分子動力学シミュレーション2019

    • 著者名/発表者名
      小林亮
    • 学会等名
      第33回分子シミュレーション討論会
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of laser ablation using electron-temperature dependent force-field2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo KOBAYASHI
    • 学会等名
      2019 Global Research Efforts on Energy and Nanomaterials (GREEN2019)
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2021-01-27  

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