| 研究課題/領域番号 |
17K05736
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 株式会社プラズマ理工学研究所 |
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研究代表者 |
進藤 春雄 株式会社プラズマ理工学研究所, 研究開発部, 教授 (20034407)
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| 研究分担者 |
磯村 雅夫 東海大学, 工学部, 教授 (70365998)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| キーワード | 大規模直線型マイクロ波プラズマ / 大面積プラズマ処理 / 大気圧プラズマ / 半導体プロセス / FPDプロセス |
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| 研究成果の概要 |
本研究課題はプラスチック等の材料表面を大面積で処理するプラズマ装置の開発を目的とし、表面の化学的処理用直線型ラジカル源及び物理的熱処理用の直線型熱源までを系統的に制御可能な大規模直線型マイクロ波大気圧プラズマ発生装置プロト機を開発する。本研究課題で得られた成果は、①1m長直線型マイクロ波大気圧プラズマ発生装置の開発。②1m長直線型マイクロ波照射源装置の開発。③内部導体によるマイクロ波導波管内波長制御装置の開発、の３点が挙げられる。①②ではプラズマ及びマイクロ波をガラス表面に照射し、その効果を表面濡れ性で確認した。また、③の開発研究では、導波管内波長が内部導体で制御可能であることを実証した。
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| 自由記述の分野 |
プラズマ理工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究課題で得られた成果は今後12インチウエハ用半導体製造装置への応用をはじめ、ガラス表面や各種プラスチック材料の大面積表面処理に応用可能であり、各種応用分野への波及効果は大であると考える。更に新技術として開発に成功した導波管内波長の内部導体による制御技術は、より長尺の直線型プラズマ発生装置開発への道を拓くものであり、Flat Panel Display(FPD)製造分野においてG10世代へ対応可能な技術になるものと考えられる。本研究課題は(株)プラズマ理工学研究所と東海大学工学部並びに国内某大企業との共同研究による成果であることを強調するものである。
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