| 研究課題/領域番号 |
17K06040
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 秋田大学 |
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研究代表者 |
山口 誠 秋田大学, 理工学研究科, 准教授 (90329863)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2022-03-31
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| キーワード | 加工変質層 / 材料評価 / ラマン分光法 / 表面分析 |
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| 研究成果の概要 |
精密加工など行う際の加工によって生じる残留応力，結晶性変化などの微小表面欠陥の評価が精密加工の高度化のために重要な課題となっている．表面層の評価方法としてラマン散乱分光法に着目した．侵入長さの短い深紫外を用いたラマン散乱分光法と，表面増強ラマン分光法(SERS)を組み合わせた深紫外表面増強ラマン散乱分光法の評価の試みを行った．シリコン基板上に約50 nmの熱酸化膜を形成した後，紫外領域にプラズモン共鳴をもつPt微粒子を数nmスパッタ法により蒸着し，励起波長266 nmのラマンスペクトルを測定し，Pt微粒子製膜領域においてSERS効果により熱酸化膜のスペクトルが観測することができた．
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| 自由記述の分野 |
分光分析
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年，様々な分野において，ナノメートルサイズの微細化が試みられており，一例としてウエアラブル端末などの小型化に貢献し，日常生活を安全・安心性に役にたっている．このような精密加工など行う際の加工によって生じる残留応力，結晶性変化などの微小表面欠陥の評価が精密加工の高度化のために重要な課題となっている．侵入長さの短い深紫外を用いたラマン散乱分光法と，表面増強ラマン分光法(SERS)を組み合わせた深紫外表面増強ラマン散乱分光法の評価の試みを行った．これにより，極表面層の欠陥，結晶性などを評価することが可能となり，より高品質な加工法の開発に貢献できるものと考えている．
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