| 研究課題/領域番号 |
17K06082
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
清水 浩貴 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 (50323043)
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| 研究分担者 |
田丸 雄摩 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 (30284590)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| キーワード | 走査形状測定 / 運動誤差測定 / 多点法形状計測 / MEMS / 真直度測定 / 平面度測定 / オンマシン測定 |
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| 研究成果の概要 |
機械加工により創生される平面形状をオンマシン測定するためには，複数の変位センサを用いる多点法で加工機の運動誤差を除去する必要がある．本研究課題では，狭ピッチかつ高精度な多点法形状計測を低コストで実現するため，5ないし10のカンチレバー式変位計を一体構造として作りこんだMEMSデバイスを提案・設計し，製作プロセスの検討を行った．ひずみ検出部に圧電体であるチタン酸バリウムを採用したデバイスを試作したところ，変位に応じた電荷出力を得ることができ，試作デバイスが変位検出能を有することを確認した．また，多点法形状計測法の誤差低減法を提案した．
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| 自由記述の分野 |
計測工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
高精度平面をつくることは機械産業の基盤技術であり，そのためには高精度オンマシン計測が不可欠である．しかし，これを実現する多点法形状計測法は複数の高精度センサを要することや，セッティング上の困難さから広く実用化されるに至っていない．これに対し，本研究課題で提案したデバイスは簡便に高精度測定ができる可能性を有し，かつ，市販のセンサの組み合わせでは実現不可能な狭ピッチ測定も可能となる．このデバイスと，提案した誤差低減法をさらに発展させることにより，理論的な検討が先行していた多点法形状計測が実用に近づくことが学術的・社会的意義である．
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