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異なる２種類の(Al、Cr、W、Si)ターゲットを用い、超硬合金ISO K10にPVDコーティングを行った。なお、ターゲットには、(Al53、Cr23、W14、 Si10)および(Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)が、反応ガスにはN2、および(N2、CH4)ガスが使用された。また、バイアス電圧は-150Vおよび-300Vとした。４種類の被膜特性、およびASTM D2焼入れ鋼(60HRC)の工具摩耗を調べた。その結果、
(1) (Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)Nコーテッド工具の摩耗進行は、(Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)(C、N) コーテッド工具のそれよりもわずかに遅かった。
(2) (Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)Nコーテッド工具の場合、2 種類のバイアス電圧を比較すると、バイアス電圧-300Vの摩耗進行が遅かった。
(3)バイアス電圧-300Vの場合、(Al53、Cr23、W14、Si10)Nコーテッド工具と(Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)Nコーテッド工具の摩耗進行を比較すると、(Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)Nコーテッド工具の摩耗進行が遅かった。
したがって、ターゲット材料として、(Al58、Cr24.8、W7.2、Si10)ターゲットが耐摩耗性に優れていることがわかった。
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