研究課題
基盤研究(C)
今日、工業製品などにおいて、異物を含めた欠陥の検出は非常に重要な課題である。超伝導量子干渉素子（SQUID）による超高感度磁気センサーを使用し、外部から励起磁場を印加して発生する磁気信号を検出することで、欠陥を検出するシステムについて検討した。励起磁場の生成機構や、検出システムであるSQUID駆動回路の改良、さらに雑音対策について検討し、個々のパートにおける性能向上を図ることができた。
計測工学
ますます微細化が進む各種製品において、その傷や異物混入など欠陥検出は非常に重要な課題である。これらに対応する一つの手法として、磁気検出を利用したシステムの性能向上は、欠陥検出技術の幅を広げるものである。さらに、ＳＱＵＩＤ ＦＬＬ回路の簡便なデジタル回路化は、ＳＱＵＩＤの利用範囲を広げることにつながり、より高感度化への試みを容易にするものと考えられる。また、励起信号の時間的・空間的制御技術および雑音低減技術は、欠陥検出に限らず、様々な計測領域で重要な要素技術と考えられる。
