今後の研究の推進方策 |
ボトルネック型放電管のプラズマ電子銃の改造を行い、照射電子エネルギーやフラックス、ドーズ量を変えて製膜する。F/C 比の異なる種々のPFC(CF4, C2F6, C3F8, C2F4, c-C4F8、C6F14) を用いて薄膜を合成し、物性や形状の違いを精査する。また、アセチレン、エチレン、ベンゼンなどの不飽和炭化水素を添加することにより、フッ素含有ポリエチレンの合成を試みる。さらに電子衝撃による電子励起に加え、高密度ラジカル照射(マイクロ波放電)や低速イオン衝撃(RF放電)により薄膜を形成し、低温における薄膜成長機構を明らかにする。
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