| 研究課題/領域番号 |
17K14092
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
堀 泰明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (50443221)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| キーワード | X線回折 / X線微小角散乱法 / 微小周期構造 |
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| 研究実績の概要 |
Ｘ線微小角散乱装置について、２０１７年度に発生したＸ線源のトラブルからの復旧を目指して作業を進めた。まず、Ｘ線出力値が低下した原因を究明する目的で、Ｘ線出力値に影響する電子線レンズ、集光ミラー、モノクロメータの各アラインメントや真空チャンバーの真空度の確認を実施したが、いずれにおいても問題は見当たらなかった。検出器のＸ線検出動作にも異常は見当たらなかった。これらのことから原因はＸ線源自身にあると推測し、メーカーの協力を得て調査したところ、Ｘ線源のフィラメントの劣化が原因であることが分かった。メーカーの協力を得てフィラメント交換を実施し、正常な動作が得られることを確認した。フィラメント交換には既存の装置類を一時的に撤去する必要があったため、交換作業後に再セットアップを行った。サンプル入射Ｘ線の強度、単色性、集光スポットサイズ、ノイズ強度など測定に影響するパラメータを詳細に評価したところ、トラブル前と同等の集光特性が得られていることを確認した。
２０１８年度は当初予定していなかった人事異動によって研究代表者が研究業務に携わる時間の十分な確保が困難となり、想定していた研究成果を得るに至らなかった。そのため、２０１８年度で終了予定であった本事業の研究期間を延長する申請を行い、２０１９年度末まで継続することが了承された。この延長期間を利用して、当初予定していた研究成果が得られるよう研究を進める。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
4: 遅れている
理由
２０１７年度にＸ線源のトラブルが発生し、その復旧作業に時間を費やすことになったため。加えて、当初予定していなかった人事異動が２０１８年４月～２０１９年３月の期間にあり、２０１８年度の研究業務への十分な時間が確保できなかったため。
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| 今後の研究の推進方策 |
２０１８年度でＸ線源のトラブルからの復旧が確認できたため、トラブル前に検出に成功した周期構造パターンサンプルからの微小角散乱信号の再取得を試みる。パターン周期、パターン表面状態やＸ線照射位置などによって得られる信号がどのように変化するのか、傾向を調べる。また、線源サイズの変更による影響も評価する。線源サイズを大きくすると集光スポットサイズが大きくなってエネルギー密度が低下する傾向があるが、トータルの出力は増加するため、場合によっては高効率な信号発生が得られる可能性がある。信号取得条件の最適化を確立することで、ほぼ同じスケールの周期構造をもつナノポアサンプルへの適用を円滑に推進する。研究目的であるナノポア計測に向けたサンプルの準備を進め、既に報告値のあるナノポーラスについての空孔計測を実施し、本手法の妥当性と将来性を検証する。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
当初予定していなかった人事異動が２０１８年４月～２０１９年３月の期間にあり、２０１８年度の研究業務への十分な時間が確保できなかったため予算の未使用が生じた。研究期間延長の申請により、２０１９年度末までの継続が了承されたため、延長期間中に実施する研究に必要なサンプル調達費などへの使用を予定している。
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