2018 年度研究成果報告書

Micro/nano-machining using metal assisted chemical etching for micro/nano systems

研究課題

研究課題/領域番号	17K14095
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	ナノマイクロシステム
研究機関	東北大学
研究代表者	グエン・ヴァントゥアン東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 特任助教 (30795117)
研究期間 (年度)	2017-04-01 – 2019-03-31
キーワード	Micro/Nano devices / Microfabication / Nanotechnology
研究成果の概要	This research focuses on metal-assisted chemical etching method for micro/nano device fabrication. Not only high aspect ratio structures are targeted, but also micro/nano devices with specific applications are focused.
自由記述の分野	Micro/Nano devices
研究成果の学術的意義や社会的意義	The research results have been reported in the highlight journals as well as largest conferences in Micro/Nano field.