紫外光励起白色LEDに適したレアアースフリー酸化亜鉛系蛍光薄膜の形成プロセスならびに各色蛍光薄膜の積層化プロセスと発光特性の関係について研究を行った。先行研究で得られていた亜鉛バナデート系黄色蛍光薄膜の補色となる青色蛍光能を持つ亜鉛タングステート含有青色蛍光薄膜について、酸化タングステンの生成を抑制し、亜鉛タングステートを主体とする薄膜が高い量子効率を持つ事を見出した。黄色蛍光薄膜と青色蛍光薄膜を単純積層した場合に混色が見られるプロセス条件も検討した。両層を一度に酸化するのではなく、層毎に酸化を施さなければ混色が生じない事、そして膜厚を薄くした方が高い量子効率を示す蛍光にある事を見出した。
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