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2018 年度 研究成果報告書

微小観察下での温度負荷による潜傷先端の光散乱強度変化の実験的解明

研究課題

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研究課題/領域番号 17K18413
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 機械材料・材料力学
計測工学
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

坂田 義太朗  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (70636406)

研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2019-03-31
キーワード光散乱 / 応力誘起光散乱法 / 温度変化 / 潜傷 / マイクロクラック
研究成果の概要

本研究では、潜傷形成に関する現象解明の基礎的検討として、応力誘起光散乱法により潜傷近傍の光散乱強度の変化を微視的な観察を行った。応力誘起光散乱法による検出原理の解明を行うとともに、潜傷近傍に生じる現象の解明することで、残留応力並びに潜傷の大きさの予測に挑戦した。その結果、光散乱強度変化はガラス基板内部に形成された亀裂上ではなく、屈折率の境界で生じていることが確認された。また、潜傷の大きさと光散乱強度変化の相関関係を評価した結果、潜傷のサイズが大きくなるにつれて、光散乱強度の変化量も大きくなることが確認され、光散乱強度変化の大きさから潜傷の大きさが推定可能であることが示唆された。

自由記述の分野

光応用計測

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究を実施したことにより、潜傷を微視的に観察することが可能となったため、初めて開発手法の潜傷検出原理を解明することができた。また、開発手法により、潜傷の大きさについても推定可能であることが示唆されたことから、潜傷検出技術としての有用性も明らかにすることができた。本研究成果を実用化することができれば、製品製造プロセスを高度化することに貢献することができ、品質向上の観点から産業競争力の向上にも貢献できると考えている。

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公開日: 2020-03-30  

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