研究成果発表報告書

高感度MEMS可動部の完全アディティブ形成技術の開発とセンサ応用

研究課題

研究課題/領域番号	17K18419
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	ナノマイクロシステム電子デバイス・電子機器
研究機関	国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究代表者	金澤周介国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (60783925)
研究期間 (年度)	2017-04-01 – 2019-03-31